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日本hamai高純度氣體兼容容器閥
日本hamai高純度氣體兼容容器閥
高純度氣體兼容容器閥
與高純度氣體兼容的高性能容器閥，用于半導(dǎo)體制造等
一種高純度氣體的容器閥，與半導(dǎo)體制造中使用的高純度氮?dú)猓呒兌妊鯕夂鸵夯奔嫒荨?/font>根據(jù)氣體的種類，我們有各種車身材料（如黃銅和不銹鋼）以及各種各樣的結(jié)構(gòu)（如背板類型和隔膜類型）的產(chǎn)品陣容。
G-12型銅后座閥
[功能]高純度氣體用黃銅后座閥，閥體采用C3771材料。通過*的O形圈凹槽支持高真空。接地螺母上的雙O形圈結(jié)構(gòu)追求更高的氣密性。
[規(guī)格]
，黃銅
易燃
，不易燃
，助燃
G-55L型黃銅隔膜閥
[特征]銅制隔膜閥，通過研磨膜片和非油脂規(guī)格，可支撐更高純度的氣體。通過采用與SUS-55LN型相同的結(jié)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)高耐用性。雙O形圈結(jié)構(gòu)是疏散的理想選擇。
[規(guī)格]
，黃銅
易燃
，不易燃
，助燃
SUS-12型不銹鋼隔膜閥
[特點(diǎn)]高純度氣體用不銹鋼后座閥，具有與銅G-12型相同的結(jié)構(gòu)，并使用SUS316L，對(duì)閥體具有優(yōu)異的耐腐蝕性。諸如Teflon和雙O形圈的密封填料可保持較高的氣密性。
[規(guī)格]
，不銹鋼
-flammable
，不易燃
，助燃
?氣體快速逸出，可以縮短檢查周期
?搜索氣體的改變是一觸式
⇒使用大氣氮?dú)鈾z查泄漏和總泄漏量后，
氬氣可以通過切換到模式來確定泄漏位置。
無需高級(jí)技能
-由于沒有吸收或滲透到彈性體中，因此可以進(jìn)行可靠的泄漏檢測(cè)。
可以準(zhǔn)確定量泄
當(dāng)排出各種氣體時(shí)，每種氣體都會(huì)發(fā)出自己*的光。通過測(cè)量這些光的每個(gè)波長(zhǎng)的光譜強(qiáng)度，可以測(cè)量各種氣體的分壓。從該分壓計(jì)算出每種氣體的泄漏量。
由于它可以測(cè)量光線，因此甚至可以很容易地測(cè)量低真空。
（右圖是各種氣體的發(fā)射顏色的示例。）
右圖是確認(rèn)使用已知電導(dǎo)率的元件在大氣壓空氣下進(jìn)行靈敏度校準(zhǔn)后，使用氬氣測(cè)量泄漏量的精度的圖表。通過在大氣中校準(zhǔn)一次，可以準(zhǔn)確測(cè)量高達(dá)10-8 Pa·m3 / s的氣體，而與氮?dú)夂蜌鍤獾?/font>氣體類型無關(guān)。
| 物品 | 規(guī)格值 |
可檢測(cè)泄漏量 | 10 -2 至10 -8 Pa ? m 3 / s |
| 工作壓力 | 約50Pa |
搜索氣 | 氬氣，空氣（N 2）等 |
| 分析方法 | 光學(xué)的 |
| 標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)器 | 標(biāo)準(zhǔn)電導(dǎo)元件 |
| 顯示/操作單元 | 手持式帶圖形顯示 |
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