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日本fuji多組分密度計FUD-1 Model-53

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產(chǎn)品型號

品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地深圳市

更新時間:2024-05-15 14:58:22瀏覽次數(shù):1105次

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日本fuji多組分密度計FUD-1 Model-53
該型號在保留 FUD-1 Model-53 的可維護性和高精度在線測量等優(yōu)點的同時,采用了用于半導體制造過程的小型單元型變送器。

日本fuji多組分密度計FUD-1 Model-53

產(chǎn)品概覽

該型號在保留 FUD-1 Model-53 的可維護性和高精度在線測量等優(yōu)點的同時,采用了用于半導體制造過程的小型單元型變送器。

多組分密度計的特點

3 個組件中的 2 個組件密度計側(cè)可以實時進行

  • 配備模擬DC 4至20mA(2系統(tǒng))和數(shù)字RS232C作為標準設(shè)備

  • 標配測量誤差輸出和報警輸出

  • 標配自診斷功能和錯誤信息顯示

  • 緊湊輕便的單元式變送器可直接安裝在線路上

  • 由于使用 PFA 的接液部件的質(zhì)量和小輸出設(shè)計,對化學溶液沒有影響。


優(yōu)點

  • 可進行高精度連續(xù)測量

  • 免維護,無需定期調(diào)整和校準

  • 安裝方便,安裝過程中無需進行各種調(diào)整

  • 通過實時輸出輕松反饋過程


用途

  • CMP工藝中的CMP漿料和氧化劑濃度控制等。

  • 清洗過程中清洗液濃度控制(HF+HNO3、HF+H2SiF6等)

  • 蝕刻工藝中蝕刻液濃度控制(TMAH+抗蝕劑、TMAH+Si等)



日本fuji多組分密度計FUD-1 Model-53

規(guī)格

模型FUD-1 Model-53
 轉(zhuǎn)換器
測量參數(shù)超聲波傳播速度/溫度/電導率
展示LCD(濃度1、濃度2、溫度、聲速、電導率/各種參數(shù))
輸出信號模擬DC4~20mA:2系統(tǒng)(可自由設(shè)定濃度值)
數(shù)字RS232C(濃度1、濃度2、聲速、溫度、電導率、錯誤代碼)
報警上限/下限 測量誤差:2系統(tǒng)
電源AC100V-240V 50/60Hz兩用30VA(也可使用DC24V)
結(jié)構(gòu)體面板安裝型(符合 DIN 標準)
環(huán)境溫度傳感器0-50℃
RH 85% 以下(無凝露)
功能輸出范圍設(shè)置功能、報警輸出設(shè)置功能、密度顯示移動平均功能、密度顯示偏移和增益設(shè)置功能、自診斷功能、故障安全功能、異常值取消功能、溫度時間常數(shù)校正
選項溫度輸出(DC4~20mA)
RS485輸出(不能與RS232C同時輸出)
通道(校準曲線)高達 7 通道
兼容變送器示例SA-20S29 + 電導率計,SA-20S27 + 電導率計



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