產(chǎn)品介紹：波威代理Alnair的SIT-200是一款基于SIT-200使用高速掃頻可調(diào)諧激光探測(cè)硅片厚度的硅片厚度測(cè)試儀。基于高速波長(zhǎng)掃描的激光器可以實(shí)現(xiàn)每波長(zhǎng)更高功率的測(cè)量，從而實(shí)現(xiàn)高動(dòng)態(tài)范圍，甚至在未拋光的晶片上也可以進(jìn)行厚度測(cè)量，例如在濕法蝕刻期間/之后。硅晶片厚度傳感器由精確調(diào)諧的波長(zhǎng)掃描激光源，聚焦傳感器和光接收器（PD）構(gòu)成。波長(zhǎng)掃描光聚焦在目標(biāo)上，并且在通過(guò)傳感器之后由PD檢

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產(chǎn)品介紹：

波威代理Alnair的SIT-200是一款基于SIT-200使用高速掃頻可調(diào)諧激光探測(cè)硅片厚度的硅片厚度測(cè)試儀。基于高速波長(zhǎng)掃描的激光器可以實(shí)現(xiàn)每波長(zhǎng)更高功率的測(cè)量，從而實(shí)現(xiàn)高動(dòng)態(tài)范圍，甚至在未拋光的晶片上也可以進(jìn)行厚度測(cè)量，例如在濕法蝕刻期間/之后。硅晶片厚度傳感器由精確調(diào)諧的波長(zhǎng)掃描激光源，聚焦傳感器和光接收器（PD）構(gòu)成。波長(zhǎng)掃描光聚焦在目標(biāo)上，并且在通過(guò)傳感器之后由PD檢測(cè)由目標(biāo)表面和背面的反射形成的干涉圖案。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

l 用于硅晶圓的全光學(xué)，非接觸式厚度傳感器

l 高動(dòng)態(tài)范圍，能夠測(cè)量無(wú)序表面

l 能夠在濕法蝕刻期間進(jìn)行原位測(cè)量

產(chǎn)品應(yīng)用：

l 硅片厚度測(cè)量

產(chǎn)品參數(shù)：

主要技術(shù)指標(biāo)		硅片厚度測(cè)試傳感器（SIT-200）
主要技術(shù)指標(biāo)		SIT-200
測(cè)試功能	-	硅片厚度
厚度測(cè)試范圍	um	10~500（n=3.5）
激光器	nm	波長(zhǎng)掃描激光器，1515nm-1585nm
光輸出功率	mW	0.6（Class 1）
引導(dǎo)光源（基準(zhǔn)光源）	-	RED LD，Laser class 1M
測(cè)試時(shí)間	ms	≥20
重復(fù)率	um	＜0.1（3σ）
監(jiān)控輸出	-	干擾信號(hào)（電信號(hào)）
程控接口	-	Ethernet（網(wǎng)口）
電源	-	AC100-240V（50/60Hz）
尺寸（WxHxD）	mm	364x147x391
重量	Kg	9.0
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