型號(hào)：OTF-1200X-50S-PE-SL
產(chǎn)品概述：OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型滑動(dòng)開(kāi)啟式PECVD系統(tǒng)。此套設(shè)備配有等離子射頻電源，直徑為50mm的開(kāi)啟式管式爐（帶有真空法蘭和連接管道）及機(jī)械泵組成。該設(shè)備模型可更新為不同類(lèi)型的PECVD 系統(tǒng)，且設(shè)備性?xún)r(jià)比較為理想。
| 設(shè)備名稱(chēng) | 小型滑動(dòng)PECVD管式爐系統(tǒng)—OTF-1200X-50S-PE-SL | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產(chǎn)品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/strong> 4、配件妥善保管提示 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產(chǎn)品特點(diǎn) | ? 射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度； ? 可通過(guò)爐體滑動(dòng)達(dá)到快速升溫和降溫； ? 可通過(guò)射頻電源的頻率來(lái)控制薄膜的應(yīng)力； ? 可通過(guò)工藝調(diào)節(jié)來(lái)控制化學(xué)計(jì)量； ? 可沉積各種材料，如SiOx, SiNx, SiOxNy 和(a-Si:H) 等。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 相關(guān)視頻 |
展示視頻 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 加熱爐參數(shù) | ? 溫度：1100℃（<30min）；連續(xù)工作溫度：1000℃； ? PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃； ? 輸入電源：208- 240V AC，功率：1.2KW； ? 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命（點(diǎn)擊文字了解涂層的詳細(xì)參數(shù)）。
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 射頻電源 | ? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿(mǎn)足不同實(shí)驗(yàn)條件的需求。
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 真空系統(tǒng) | ? 采用TRP-12的雙旋真空泵； ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵； ? 真空度可達(dá)10-2Torr。
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 供氣系統(tǒng) | ? 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）； ? 流量范圍:
? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz； ? 氣體進(jìn)出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管； ? 不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出； ? PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產(chǎn)品尺寸和重量 | ? 尺寸：1500mm L′600mm W′1200mm H ? 凈重：160 kg ? 運(yùn)輸重量：220 kg | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 認(rèn)證 | ? CE認(rèn)證 ? 所有電器元件通過(guò) UL / MET / CSA認(rèn)證 ? 如您另外付費(fèi)，我們可以保證單臺(tái)儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 承諾 | ? 一年質(zhì)保期，終身維護(hù)（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件） |
環(huán)保在線(xiàn)