能量色散X射線熒光光譜儀是一種非破壞性的分析儀器，可用于快速分析幾乎所有元素的含量和分布情況。它是一種技術(shù)成熟、使用方便、分析靈敏度高的現(xiàn)代分析儀器，廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、環(huán)境監(jiān)測、生命科學(xué)等領(lǐng)域。
該儀器采用X射線作為激發(fā)源，用于激發(fā)樣品中的元素產(chǎn)生熒光。熒光光譜的強(qiáng)度與所含元素的數(shù)量成正比，其能量信息對應(yīng)著元素的特征能級，可以定量分析樣品中元素的含量。EDXRF的較大優(yōu)勢是非常適合大樣品和粗糙表面等現(xiàn)實樣品，即使它們被處理或混雜了許多其他元素。同時，EDXRF的分析速度快、精度高、不需要復(fù)雜的試劑和樣品處理。
能量色散X射線熒光光譜儀的分析過程分為兩個步驟：激發(fā)和檢測。首先，X光管發(fā)出的X射線穿過與樣品接觸的薄膜。這些X射線與樣品中的原子相互作用，使得樣品中的原子處于光激發(fā)的狀態(tài)，并發(fā)出能量較小的熒光。其次，獲得樣品上的熒光信號。熒光從樣品中發(fā)出并由探測器捕獲，產(chǎn)生信號輸出，進(jìn)而對數(shù)據(jù)進(jìn)行分析和計算，以確定元素的含量。此外，EDXRF還可以確定樣品中的各種化學(xué)工藝狀態(tài)和結(jié)構(gòu)特征信息。
能量色散X射線熒光光譜儀有多種型號和配置。主要包括固定樣品臺式、流動進(jìn)樣式等幾種形式。固定樣品臺式主要用于大樣品的快速分析，由于需要拉近激發(fā)源和樣品之間的距離，因此只能檢測樣品的表層。流動進(jìn)樣式可以使用泵將樣品引入檢測器中，可實現(xiàn)對精細(xì)樣品、液體樣品、粉末和顆粒狀態(tài)的物質(zhì)進(jìn)行分析。
該儀器應(yīng)用廣泛，涉及多個領(lǐng)域。例如，材料科學(xué)領(lǐng)域可用于表面的處理質(zhì)量分析、組分分析、摻雜分析和膜層分析等；環(huán)境監(jiān)測領(lǐng)域用于水、土地和廢物的污染狀況分析，以及大氣顆粒物的監(jiān)測等；生命科學(xué)領(lǐng)域中主要應(yīng)用于藥品質(zhì)量、食品安全和生物樣品監(jiān)測等。
總的來說，該儀器是一種非常實用的分析儀器，其具備的高速度、高精度、高靈敏度和高可靠性等優(yōu)點(diǎn)使得其應(yīng)用范圍廣闊。隨著現(xiàn)代科技的不斷發(fā)展，EDXRF儀器的分析效果將進(jìn)一步擴(kuò)大，并為相關(guān)行業(yè)的研發(fā)和生產(chǎn)工作做出更多的貢獻(xiàn)。
