日立掃描電子顯微鏡（SU3800）沿用了已 經(jīng)經(jīng)過驗證的GU I界面。另外還搭 載了*的SEM MAP, 而且相機導航系統(tǒng)提供超大視野導航，為操作人員提供更加貼心順暢的操作體驗。

配備了多功能超大樣品倉，可以搭載多種 配件。而且也適用于直徑 20 0 m m {SU3 800 )、可升級為直徑30 0 m m {SU 390 0)的大型樣品。

全更換樣品

通過更換樣品提示，可防止由于與樣品的接觸而損壞設備或樣品。

自動調整

通過自動啟動功能和自動光軸調節(jié)功能， 可以快速觀察。

廣角相機導航x

廣角相機導航覆蓋了大觀測區(qū)的整個區(qū)域。

SEM MAP

您可以順利找到目標觀察物。

分析解決方案

除了—體化集成 EDS 功能氣以外，還可與其他設備和軟件聯(lián)用。

Report Creator

可以將SEM /EDS/ SEM MAP 圖像統(tǒng)一任意布局，根據(jù)需求個性化輸出報告。

超多選配項

標配超大多功能樣品 倉?？芍С?/span>In -Si t u 分析。

· 通過鼠標操作，可實現(xiàn)直觀的視野移動

通過點擊或拖拽實時圖像上的任意位詈，即可移動視野?？扇Χ▽崟r圖像上的任一位置，被圈定的位置可移動到視野并放大。

· 簡單操作，如同觸屏般直觀

· 從移動樣品臺到樣品觀察 ，輕輕點擊鼠標即可實現(xiàn)。

· 也可觸屏操作。

· 主窗口為1,280x960 像素的大窗口。

· 可以切換顯示模式 ，并且同時顯示／拍攝兩種不同的信號。

· 自動軸距調整功能

光軸調整以及更換燈絲之后所需 實施的各種調整工作已經(jīng)實現(xiàn)了 自動化。由此能夠抑制光軸和視野的偏差，從而再也無需依靠操作人員的技能如何，都可以重現(xiàn)性較好地獲取高質量的數(shù)據(jù)。

配備了電子光學系統(tǒng)和檢測系統(tǒng)的自動調整功能。放入樣品并抽真空之后，通過自動啟動功能可以實現(xiàn)圖像自動調整，并在電子束照射后立即獲取清晰的圖像。

高度自動化功能采用全新設計的演算程序，在執(zhí)行圖 像自動調整功能時，等待時間縮短到以往的1/3以下。不需要繁瑣的畫像調整，可輕松獲得高通量的圖像數(shù)據(jù)。

搭載Intel ligent Filament Technology(IFT)

· 自動監(jiān)視燈絲的狀態(tài)，自動控制，使其一直處于合適的性能狀態(tài)。

· 搭載顯示燈絲更換時間的顯示屏 。

通過該功能，使得原來難以對應的長時間連續(xù)觀察以及數(shù)據(jù)分析等大范圍分析均可以安心實現(xiàn)。

擴展了真空模式和檢測功能，以滿足多樣化的觀察需求。除了可以安裝二次電子探測器，以及在任何真空模式下都可操作的高靈敏度半導體式背散射電子探測器之外，還可以安裝 UVD。可以獲得樣品凹凸信息以及通過電子束照射產生的陰極熒光(CL信息）。

通過采用4分割+l單元的設計，對每個單元進行計算，無需傾斜樣品，即可獲得成分圖像、3D圖像以及4方向凹凸圖像。探測器的設計十分精巧，且靈敏度高，實現(xiàn)了高分辨率和高信噪比 。

紅外CCD探測器是用于監(jiān)控樣品 倉內部的裝置。通過使用紅外線攝像機，可以在觀察SEM圖像的同時監(jiān)視樣品倉內部情況。為了獲得更詳細的位置，可放大CCD圖 像，并且移動觀察位置。

Zigzag功能可以自動獲取連續(xù)的視野。MultiZigzag 可以在樣品臺的多個區(qū)域設定Zigzag,在不同的視野中拍攝多張高倍率圖像，并能夠使用Viewer功能來拼接拍攝的圖像從而創(chuàng)建大視野圖像。

與GUI 聯(lián)合的SEM MAP實現(xiàn)了廣角相機導航米。 在SEM MAP上觀察目標位置 ，可以順利地移動到位置上。使用大視野相機導航系統(tǒng)拍攝的圖像或外部圖像，通過自由放大或縮小圖像，可以將大視野的彩色圖像切換到高倍率的SEM 圖像。

相機導航系統(tǒng)通過圖像拼接功能可以實現(xiàn)大視野的SEM MAP觀察。觀察區(qū)域127mm/直徑200mm , 并且可以與樣品臺R一起聯(lián)動，移動到大型樣品的大觀察區(qū)域。

Hitachimap 3D可對SU3800的5分割背散射電子探測器當中的 4個不同方向的SEM信號進行演算分析 ，生成三維圖像。支持2點間高度、體積和簡易 表面粗糙度（面粗糙度、線粗糙度）測量?？梢淮涡越邮账膫€不同方向的信號 ，因此，無需傾斜樣品臺或合成圖像。

日立掃描電子顯微鏡（SU3800）使用案例（電子產品）：