Tetra 1200 LF-PC | 特殊設(shè)備
開關(guān)柜:寬 1000 mm、高 1000 mm、深 1800 mm
腔室:寬 600、高 1000 mm、深 2000 mm
腔室容積:約 1200 升
氣體供給:通過(guò) MFC 控制的 2 個(gè)氣體通道
發(fā)生器:3 個(gè)(各為 40 kHz)
控制系統(tǒng):配有工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)總線的 PC-控制系統(tǒng) (Windows)
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