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當前位置：重慶開衡科技有限公司>>PECVD系統(tǒng)>> 銅銦鎵硒太陽能薄膜電池專用爐 實驗室臭氧發(fā)生機
| 參 考 價: | 面議 |
主要特點
這是一款針對太陽能硒化設計的專用爐，爐體上端腔體可以實現(xiàn)離子增強硒化功能，利用上下腔體內(nèi)的壓差實現(xiàn)硒化氣體均勻擴散乘積在基體表面。上腔體溫度調(diào)節(jié)范圍50-600度，等離子強度0-500W可調(diào)，下腔體0-800度可調(diào)?？梢远ㄖ葡虑惑w連續(xù)工作。
技術參數(shù)
功率 | 上爐體：1.5kw |
下爐體：5kw | |
射頻功率 | 0-500W可調(diào) |
爐膛尺寸 | 上腔體：100*100*100mm |
下腔體：240*300*100mm | |
爐膛溫度 | 上腔體：50-600度可調(diào) |
下腔體：50-800度可調(diào) | |
重量 | 220Kg |
外型尺寸 | 1200*900*1600mm |
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智能型雙溫區(qū)等離子化學氣相沉積系統(tǒng)(型號：BTF-1200C-II-A
主要特點：一、此設備的高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負反饋控 |
三溫區(qū)智能型等離子體化學沉積系統(tǒng)（BTF-1200C-III-500A
主要特點：此款智能型等離子體增強化學沉積系統(tǒng)的高溫真空爐加熱腔體采用進 |
連續(xù)進出料等離子體增強回轉設備-BTF-1200C-RP-PECVD
主要特點該款設備是全自動Plasma增強CVD系統(tǒng)（PECVD）請輸入賬號
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