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3軸機(jī)械臂3軸圓柱坐標(biāo)潔凈晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂

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更新時(shí)間：2024-06-18 08:52:09瀏覽次數(shù)：82次

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上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司

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3軸圓柱坐標(biāo)潔凈晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂特點(diǎn)：超潔凈無(wú)塵間用300mm晶圓對(duì)應(yīng)MCR3000C系列適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部

詳細(xì)介紹

3軸圓柱坐標(biāo)潔凈晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂特點(diǎn)：

超潔凈無(wú)塵間用300mm晶圓對(duì)應(yīng)MCR3000C系列

適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測(cè)設(shè)備等的晶圓搬運(yùn)

全軸采用AC伺服電機(jī)滿足高速搬送的需求

比MHR系列具有更好的性價(jià)比優(yōu)勢(shì)

機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng):160mm, 200mm

適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式

配備動(dòng)作監(jiān)視器

控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式

全軸采用值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)

S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓

晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式

手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)

可以針對(duì)被搬運(yùn)物體種類，設(shè)備布局等要求提供的手指

3軸圓柱坐標(biāo)潔凈晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂基本參數(shù)：