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行業(yè)產(chǎn)品

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上海納騰儀器有限公司


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NX20 高精度全自動大面積原子力顯微鏡

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產(chǎn)品型號NX20

品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時間:2023-02-18 14:30:19瀏覽次數(shù):140次

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產(chǎn)品簡介

NX20 高精度全自動大面積原子力顯微鏡

詳細介紹

作為一款缺陷形貌分析的精密測量儀器,其主要目的是對大型樣品進行缺陷檢測。而儀器所提供的數(shù)據(jù)不能允許任何錯誤的存在。Park NX20,這款精密的大尺寸樣品原子力顯微鏡,憑借著出色的數(shù)據(jù)準確性,在半導體和超平樣品行業(yè)中大受贊揚,ParkNX20擁有業(yè)界便捷的設(shè)計和自動界面,讓你在使用時無需花費大量的時間和精力,也不用為此而時時不停的指導初學者。借助這一系列特點,您可以更加專注于解決更為重大的問題,并為客戶提供及時且富有洞察力的失效分析報告。

強大全面的分析能力,Park NX20具備無二的功能,可快速幫助客戶找到產(chǎn)品失效的原因,并幫助客戶制定出更多具有創(chuàng)意的解決方案。的精密度為您帶來高分辨率數(shù)據(jù),讓您能夠更加專注于工作。與此同時,真正非接觸掃描模式讓探針更鋒利、更耐用,無需為頻繁更換探針而耗費大量的時間和金錢。



的產(chǎn)品特點

1)Smartscan智能掃描模式,1,23"點擊即可實現(xiàn)成像

2)Pinpoint Nanomechanical力控出圖模式,更*的力學形貌成像及各種電學測試

3)強大的內(nèi)置集成軟件系統(tǒng),自帶LFM/液相AFM/MFM/EFM/KPFM/Force Curve軟件模式


技術(shù)參數(shù)

低噪聲XYZ位置傳感器

高速Z軸掃描器,掃描范圍15μm

自動多樣點掃描,集成編碼器的XY自動載樣臺(編碼器可用于所有自動樣品載臺,并可保證更高的重復定位精度,從而可更

精確地控制樣品測量位置。XY馬達運動工作時分辨率為1 µm,重復率為2 µm。Z馬達運動的分辨率為0.1 µm,重復率為1 µm

用于高級掃描模式易插拔擴展槽。

200mm樣品臺(可選擇300mm樣品臺)

選項/模式

標準成像

電學性能測量

機械性能測試

? 真正非接觸式

? 接觸式

? 側(cè)向摩擦力顯微技術(shù)LFM

? 相位模式,輕敲模式

? 導電AFMULCAVECA

? 靜電力顯微鏡EFM

? 壓電力顯微鏡PFM

? 掃描電容顯微鏡SCM

? 掃描開爾文探針顯微鏡KPFM

? 掃描電阻顯微鏡SSRM

? 力調(diào)制顯微鏡FMM

? PFM壓電力顯微鏡

? 力調(diào)制顯微鏡FMM

? 壓痕,納米刻蝕

? 相位成像

磁性能

熱性能

? 磁力顯微鏡MFM

? 掃描熱顯微鏡SThM


應(yīng)用

用于失效分析和大型樣品研究的的納米計算工具,滿足各個領(lǐng)域的研究

缺陷檢查成像和分析

高分辨率電子掃描模式

對樣品合基片進行表面粗糙度測量

樣品側(cè)壁三維結(jié)構(gòu)的測量



關(guān)鍵詞:顯微鏡 傳感器

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