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深圳維爾克斯光電有限公司


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450PM手動(dòng)探針系統(tǒng)

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8060,4060,450PM探針系統(tǒng)結(jié)合了晶圓高效探測(cè),準(zhǔn)確的光學(xué)系統(tǒng)和機(jī)械性能好于一身,是手動(dòng)150 / 200mm用于要求較高的分析測(cè)試的探針系統(tǒng),在世界各地都廣泛應(yīng)用的專(zhuān)業(yè)設(shè)備。微機(jī)械手8060,4060,450PM,4060,450PM型200mm手動(dòng)探針臺(tái)提供了6 - 8"(150 - 200mm) 手動(dòng)探針系統(tǒng)的性能。Micromanipulator 自主研發(fā)的8060,4060......

詳細(xì)介紹

高性能手動(dòng)150mm-200mm晶圓探針,8060,4060,450PM,4060450PM手動(dòng)探針系統(tǒng)


8060,4060,450PM探針系統(tǒng)的可用選項(xiàng)允許您根據(jù)您的特定需要配置它。美國(guó)Micromanipulator 8060,4060450PM200mm手動(dòng)探針系統(tǒng)提供了6 - 8"(150 - 200mm)手動(dòng)分析探針系統(tǒng)的性能。8060是設(shè)計(jì)為易于使用的要求應(yīng)用,如極低電流和電壓探測(cè),高和低溫探測(cè),和亞微米目標(biāo)探測(cè)的極限可見(jiàn)光學(xué)。80604060,450PM工作站結(jié)合了高效使用的價(jià)值和一致、準(zhǔn)確的電氣和機(jī)械性能的信心,是世界各地要求高的分析測(cè)試專(zhuān)業(yè)人員選擇的手動(dòng)150 / 200mm探針工作平臺(tái)。探針持有器,熱夾,操縱器,的探針持有器,振動(dòng)隔離表,輕型密封外殼(LTEs)和相機(jī)系統(tǒng)是流行的附件選項(xiàng)。支持三個(gè)溫度范圍。8060也可以配置一個(gè)集成的環(huán)境,支持暗屏蔽干探測(cè)。支持三種溫度范圍:

-環(huán)境溫度(室溫)400C

- 0 c - 400 c

- -65℃到400

8060型的性?xún)r(jià)比,加上其高效率的特點(diǎn)和堅(jiān)固的可靠性,使其成為高性能分析研究中真正的高性?xún)r(jià)比設(shè)備。

8060,4060手動(dòng)探針系統(tǒng)特性概述:

8060,4060,450PM手動(dòng)探針系統(tǒng)提供性能可在6 - 8"(150 - 200mm)手冊(cè)分析探針臺(tái)。8060的設(shè)計(jì)是為了便于使用適用于要求較高的場(chǎng)合,如極低電流電壓探測(cè),高溫探測(cè),低溫探測(cè),以及探測(cè)可見(jiàn)光極限的亞微米目標(biāo)。8060站結(jié)合了有效利用的價(jià)值具有一致性的信心,準(zhǔn)確的電氣和機(jī)械性能好,是手動(dòng)150 / 200mm用于要求較高的分析測(cè)試的探針站世界各地的專(zhuān)業(yè)人士。

可供選擇的型號(hào)8060探針系統(tǒng)允許您可以根據(jù)您的特定需要配置它。探針卡支架,熱夾頭,機(jī)械手,的探針支架,隔振臺(tái),輕型密封外殼(LTEs)和相機(jī)系統(tǒng)是流行的附件選項(xiàng)。450PM手動(dòng)探針平臺(tái)也可以配置一個(gè)集成的支持黑屏蔽干探測(cè)的環(huán)境。

4060型的性?xún)r(jià)比是耦合的其擁有成本低,得益于其高效率特點(diǎn)和堅(jiān)固的可靠性結(jié)合,使它真正高性能分析的成本效益答案探索。

美國(guó)Micromanipulator 80604060手動(dòng)探針系統(tǒng)特性規(guī)格:

-腳印(寬度x深度)22.75x 23.35"(57.7 x 59.3cm)。站寬、深、高28.5 " x 26.75 " x 21.5 " (72.3 x 67.9)x 54.6厘米)。重量:246(542.3公斤)x - y階段運(yùn)動(dòng)

-鑄造舞臺(tái)核心,更快的沉淀時(shí)間。

-交叉滾柱軸承方式建設(shè),高可靠性和精度。

-X和Y軸范圍6 " X 6 " (150mm X 150mm)8 " X 8 "(200 mm x 200 mm)。手動(dòng)控制

-分辨率3.5“快速",0.38“精細(xì)"控制。查克θ:100 TPI(0.7英寸)分辨率,15度范圍。顯微鏡

-橋架安裝為4 " x 4 " x 2 " (100 x 100 x 50mm) x, Y, Z分辨率2.5。大面積磁性不銹鋼壓板

-通過(guò)壓板精細(xì)舉升控制,Z軸范圍為1.0"(25.4mm),分辨率0.1×m每度旋轉(zhuǎn)


8060,4060,450PM手動(dòng)探針平臺(tái)配件和選項(xiàng),包括:

探頭卡持有人,輕型密封外殼,熱夾頭,視頻配件,手動(dòng)/電動(dòng)操作器。

450PM 手動(dòng)探針平臺(tái)性能和優(yōu)點(diǎn):

-舞臺(tái)手動(dòng)絲杠控制,使用壽命長(zhǎng)穩(wěn)定、快速定位。

-450PM-A型滾筒的絲杠控制用于探針卡的定位。

-手動(dòng)卡盤(pán)旋轉(zhuǎn)與方便的鎖。

-立體變焦或復(fù)合顯微鏡上的穩(wěn)定桿允許手動(dòng)X-Y定位,精確聚焦控制。

-符合人體工程學(xué),緊湊的設(shè)計(jì)提高了易用性,而增加穩(wěn)定性。

-緊湊的腳印,有效利用實(shí)驗(yàn)室空間。

-大型鋁壓板,讓運(yùn)營(yíng)商選擇多種方便的機(jī)械手放置選項(xiàng)。

-8英寸(200mm)8英寸x8英寸環(huán)境真空吸盤(pán)晶圓級(jí)旅行。

-可選配熱卡盤(pán),包括內(nèi)置卡盤(pán)具有方便終端的電纜/軟管處理組件在探測(cè)器站的后面。


美國(guó)Micromanipulator 450PM 手動(dòng)探針平臺(tái)特性規(guī)格:

-腳印(寬度x深度)22.75x 23.35"(57.7x59.3cm)。工位寬度、深度、高度28.5 " x 26.75 " x 21.5 "(72.3 x67.9x 54.6厘米)。重量:191(86.6公斤)。x - y階段運(yùn)動(dòng)

-鑄造舞臺(tái)核心,更快的沉淀時(shí)間。

-交叉滾柱軸承方式結(jié)構(gòu),高可靠性和精度。

-X和Y軸范圍為8X 8"(200mm X 200mm)。手動(dòng)控制

-分辨率為每度1h。查克θ:

-通過(guò)易于使用的拇指螺絲提供安全固定卡盤(pán)柱上可旋轉(zhuǎn)輪轂顯微鏡

-臂架安裝允許在Y軸定位下最多8"(200mm)。上旋轉(zhuǎn)安裝桿可達(dá)180度。

-垂直定位長(zhǎng)度可達(dá)8"(200mm), 1"顯微鏡精細(xì)聚焦控制大面積鋁壓板

-450PM-A: 1"(25.4mm) Z軸范圍,通過(guò)壓板精細(xì)提升控制,分辨率40微米(0.0015"),每次旋轉(zhuǎn)。

-450PM-B:固定,穩(wěn)定壓板。

關(guān)鍵詞:顯微鏡

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