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沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司


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雙管滑動快速加熱冷卻爐OTF-1200X-4-C4LVS

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽市

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更新時間:2023-06-30 17:03:48瀏覽次數(shù):75次

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所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

雙管滑動快速加熱冷卻爐OTF-1200X-4-C4LVS

詳細介紹

產(chǎn)品簡介:雙管滑動快速加熱冷卻爐OTF-1200X-4-C4LVS特殊的雙管CVD系統(tǒng),是專為在金屬箔上生長薄膜而設(shè)計的,特別適用于新一代能源——柔性金屬箔電極方面的研究。本機可通過滑動爐體,實現(xiàn)快速加熱和冷卻。

OTF-1200X-4-C4LVS雙管滑動快速加熱冷卻爐操作視頻 控溫儀表操作視頻

 

產(chǎn)品型號

雙管滑動快速加熱冷卻爐OTF-1200X-4-C4LVS

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(加注純凈水或者去離子水)

2、電:AC380V 50Hz(63A空氣開關(guān)),必須有良好接地

3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶Ø6mm雙卡套接頭)

4、工作臺:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上

5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點

1采用高純Al2O3保溫材料,保證了爐膛有的溫度均勻性,內(nèi)爐膛表面涂有進口高溫氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。

2、設(shè)有雙石英管,金屬箔纏繞在內(nèi)管的外表面上,以發(fā)生CVD反應(yīng)。

3、雙管的真空密封法蘭允許反應(yīng)氣體通過兩管之間(10mm間隙)發(fā)生反應(yīng),冷卻氣體直接通入內(nèi)管。

4、配有四通道質(zhì)量流量計控制4路氣體,及采用KF25快接和波紋管連接的高速機械泵。

5、底部設(shè)有滑軌,爐子可以從一端滑向另一端,從而實現(xiàn)快速升溫和降溫。

6、樣品所在的位置每路氣路都有一個獨立的不銹鋼針閥控制。

技術(shù)參數(shù)

1、電源:單相208V-240V AC  50Hz/60Hz  2.5KW20A保險絲)

2、石英管:外管外徑Ø100mm,內(nèi)徑Ø96mm,長1400mm

內(nèi)管外徑Ø80mm,內(nèi)徑Ø75mm,長1400mm

3、加熱區(qū):440mm

4、恒溫區(qū)120mm(雙溫區(qū)爐可獲得240mm

5、工作溫度:溫度1100℃,連續(xù)溫度1000

6、控溫精度:±1

7、升降溫速度:在使用前需要校正工作溫度、加熱效率、冷卻效率

                

8、真空度:10-3torr(機械泵),10-5torr(分子泵)

9、真空法蘭:SS304不銹鋼,配有兩個高溫O型圈密封

10、流量計:4路精密質(zhì)子流量計,氣體流量自動控制(數(shù)字顯示)

                      MFC1范圍0-100sccm    MFC2范圍0-200sccm

MFC3范圍0-200sccm    MFC4范圍0-500sccm

11、流量精度:0.2%

12、進出氣口:1/4"卡套

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:550mm×380mm×520mm;重量:138kg

可選配件

1、銅箔150m×150mm×25µm,生長石墨烯用)

2、防腐型數(shù)字式真空顯示計


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