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500W直流濺射電源DC-500-LD

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沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

500W直流濺射電源DC-500-LD

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹：500W直流濺射電源DC-500-LD主要適用于我公司制造的VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀和VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀，主要為濺射儀提供直流電源，配合磁控濺射頭達(dá)到濺射靶材的目的。工作過(guò)程中輸出功率可達(dá)到500W，輸出電壓可達(dá)DC600V，電壓和電流的分辨都，可以滿(mǎn)足對(duì)絕大多數(shù)導(dǎo)電材料的濺射的目的。500W直流濺射電源DC-500-LD配用本司的磁控濺射頭，再搭配循環(huán)水冷機(jī)及高真空系統(tǒng)自行搭建磁控濺射鍍膜儀對(duì)樣品進(jìn)行鍍膜操作。500W直流濺射電源DC-500-LD是磁控濺射儀中的組成部分。

產(chǎn)品型號(hào)	500W直流濺射電源DC-500-LD
技術(shù)參數(shù)	1、輸入電壓：AC 220V 2、輸出功率：500W 3、輸出電壓：DC 600V 4、電壓分辨率：DC 1.0V 5、輸出電流：DC 0.8A 6、電流分辨率：1mA 7、控制精度：±1%
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：440mm×160mm×440mm
可選配件	1、2"高真空磁控濺射頭，可自行搭建RF或DC濺射鍍膜儀。 2、同時(shí)購(gòu)買(mǎi)300W射頻發(fā)射器和2"磁控濺射頭時(shí)，本司贈(zèng)送1個(gè)高真空快速接頭。接頭內(nèi)徑為0.75"，可將濺射　　頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1"，真空腔體的壁厚不得大于1"。 3、循環(huán)水冷機(jī)，流量為16L/min，水箱容積為6L。