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D07-7B型氣體質(zhì)量流量控制器

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更新時間:2023-04-09 18:02:23瀏覽次數(shù):178次

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所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

流量控制器(MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測量和控制

詳細(xì)介紹

流量控制器(MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。

詳細(xì)參數(shù)

標(biāo)準(zhǔn):

氣體質(zhì)量流量用氮氣(N2)標(biāo)定。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為:

標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃(273.15K)

標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa


輸入和輸出:

輸入電源………………+15V,50mA,-15V,200mA

輸入設(shè)定電壓…………0~+5.00V

輸出電壓檢測…………0~+5.00V

產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)

滿量程流量范圍(N2

5SCCM~10SLM/MIN

控制范圍

2~100%F.S.

閥類型(及閥初始狀態(tài))

電磁調(diào)節(jié)閥(常閉)

準(zhǔn)確度

±1.5%F.S.

線性

±0.5~1.5%F.S.

重復(fù)精度

±0.2%F.S.

響應(yīng)時間

≤7sec

工作溫度范圍

5~45℃

工作壓差

0.1~0.5MPa

耐壓

3MPa

漏氣率

1×10-8atm.cc/sec He

通道濕材料

316L不銹鋼、密封材料

靜密封材料

氟橡膠(或丁晴橡膠、硅橡膠)

電連接器

D sub 9 pins male,D sub 15 pins male,DeviceNetTMmale

動密封材料

氟橡膠(或丁晴橡膠、硅橡膠、聚四氟乙烯)

接頭選擇

VCR 1/4”

Swagelok 1/4”或φ6、φ3

重量

1.1Kg

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