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雙頻激光干涉儀精密測(cè)量?jī)x器中圖儀器（chotest）SJ6000

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SJ6000雙頻激光干涉儀精密測(cè)量?jī)x器使用高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)，以光波長(zhǎng)(633nm)為測(cè)量單位，分辨率可達(dá)nm級(jí)

詳細(xì)介紹

SJ6000雙頻激光干涉儀精密測(cè)量?jī)x器使用高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)，以光波長(zhǎng)(633nm)為測(cè)量單位，分辨率可達(dá)nm級(jí)。

SJ6000雙頻激光干涉儀精密測(cè)量?jī)x器以光波為載體，集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時(shí)；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。

性能特點(diǎn)

①使用高速光電信號(hào)采樣和處理技術(shù)，測(cè)量速度可達(dá)到4m/s。
②配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測(cè)量精度
③分離式干涉鏡設(shè)計(jì)，避免了測(cè)量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變

應(yīng)用范圍

①可以實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測(cè)；
②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動(dòng)分析以及穩(wěn)定度等分析；
③可實(shí)時(shí)監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性分析。

SJ6000雙頻激光干涉儀精密測(cè)量?jī)x器具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。其中，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M(mǎn)足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。

關(guān)鍵詞：激光干涉儀