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愛(ài)德華edwardsIXL高性能干式真空泵機(jī)組

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愛(ài)德華edwards半導(dǎo)體干式真空泵iXL高性能干式真空泵機(jī)組iXL系列干泵滿足平板顯示器(FPD)、半導(dǎo)體和太陽(yáng)能制造市場(chǎng)領(lǐng)域涉及的所有排氣要求

詳細(xì)介紹

愛(ài)德華edwards半導(dǎo)體干式真空泵iXL 高性能干式真空泵機(jī)組

iXL 系列干泵滿足平板顯示器 (FPD)、半導(dǎo)體和太陽(yáng)能制造市場(chǎng) 領(lǐng)域涉及的所有排氣要求。

這些性能的泵旨在Z大限度地提高基板吞吐量，同時(shí)盡可能降低功耗、占地面積和重量。此外，大修間隔期內(nèi)無(wú)須維護(hù)。

Standard_Body_Image_iXL_Pumps

適用于半導(dǎo)體和太陽(yáng)能應(yīng)用的小型 iXL 干泵

iXL120：緊湊型低能量的 110 m3/h 干泵，用于晶圓加工和其他清潔工作應(yīng)用。它可快速抽空負(fù)載鎖定艙室，能耗極低。可用于負(fù)載鎖定和清潔應(yīng)用的Z小且Z輕的泵之一。其低振動(dòng)和低噪聲級(jí)的優(yōu)點(diǎn)使其適合于安裝在機(jī)臺(tái)上或工廠的夾心層中，從而有助于節(jié)省寶貴的工廠地面空間。環(huán)保模式可在空閑期間降低設(shè)備使用率，從而降低使用成本，有助于保護(hù)環(huán)境。

的艙室抽空時(shí)間可減少總體平均循環(huán)時(shí)間 (TACT)
僅僅 0.55kW 的功耗有助于減少客戶擁有成本
環(huán)保模式可以在空閑期間Z多減少 92% 的功耗
Z高 35oC 的水供給有助于降低設(shè)備冷卻水要求
極小且極輕，有助于節(jié)省寶貴的工廠空間

適用于嚴(yán)苛應(yīng)用的大型 iXL 干泵

iXL1000：緊湊型低能量的干泵，適用于輕負(fù)載應(yīng)用。它提供快速艙室抽空和極低的功耗。可用于輕負(fù)載應(yīng)用（如晶圓加工、PVD 和計(jì)量）的Z小且Z安靜的泵之一。此產(chǎn)品在高度成功的 iXL120 泵的基礎(chǔ)上構(gòu)建，具有高抽取速度和低能耗特性。通過(guò)環(huán)保模式可在空閑期間降低設(shè)備使用率，從而降低成本并幫助保護(hù)環(huán)境。

的艙室抽空時(shí)間可減少總體平均循環(huán)時(shí)間 (TACT)
僅僅 0.55kW 的功耗有助于減少客戶擁有成本
環(huán)保模式可以在空閑期間Z多減少 92% 的功耗
Z高 35oC 的水供給有助于降低設(shè)備冷卻水要求
極小且極輕，有助于節(jié)省寶貴的工廠空間

適用于 Applied Materials 制程平臺(tái)的 IPUP

IPUP2：緊湊型低能量的 180m3/h 干泵，用于晶圓加工和其他清潔工作應(yīng)用。它能夠以低能耗快速抽空負(fù)載鎖定艙室。

IPUP2 小巧輕便，適用于負(fù)載鎖定和清潔應(yīng)用。其低振動(dòng)和低噪聲級(jí)的優(yōu)點(diǎn)使其適合于在機(jī)臺(tái)上使用或安裝在工廠的夾心層中，從而有助于節(jié)省寶貴的工廠地面空間，同時(shí)Z大程序地提高泵送性能。環(huán)保模式可在空閑期間降低設(shè)備使用率，從而降低使用成本，有助于保護(hù)環(huán)境。

適合在 Applied Materials 的制程平臺(tái)上使用，可提高處理能力，同時(shí)減少能耗。