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P17探針式輪廓儀臺(tái)階儀形貌儀粗糙度儀表面形貌測(cè)試

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KLA是半導(dǎo)體在線檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)較大的供應(yīng)商，在半導(dǎo)體、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、MEMS、太陽(yáng)能、光電子以及其他領(lǐng)域中有著的

詳細(xì)介紹

KLA是半導(dǎo)體在線檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)較大的供應(yīng)商，在半導(dǎo)體、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、 MEMS 、太陽(yáng)能、光電子以及其他領(lǐng)域中有著的。P-1 7 是KLA公司的第八代探針式臺(tái)階儀系統(tǒng)，歷經(jīng)技術(shù)積累和不斷迭代更新，集合眾多技術(shù)優(yōu)勢(shì)。P-1 7建立在P-17臺(tái)式探針輪廓分析系統(tǒng)的成功基礎(chǔ)之上。它保待了P-17技術(shù)的較好測(cè)量性能，并作為臺(tái)式探針輪廓儀平臺(tái)提供了的性價(jià)比。P-17可以對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D洌量，其掃描可達(dá)150 mm而無(wú)需圖像拼接。P-170 F的載物臺(tái)支待300mm直徑晶圓。
從可靠性表現(xiàn)來(lái)看， P-17具有比較好的測(cè)噩重復(fù)性。Ult ra li t e ®傳感器具有動(dòng)態(tài)力控制，良好的線性，和精準(zhǔn)的垂直分辨率等特性。友好的用戶界面和自動(dòng)化測(cè)噩可以適配大學(xué)、研發(fā)、生產(chǎn)等不同應(yīng)用場(chǎng)景。

關(guān)鍵詞：檢測(cè)設(shè)備臺(tái)階儀輪廓儀傳感器