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光譜反射計(jì)

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹：薄膜厚度測量和反射計(jì)系統(tǒng)SR100通過測量反射光譜,結(jié)合tfprobe軟件建模能力可獲得薄膜性質(zhì)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹：

薄膜厚度測量和反射計(jì)系統(tǒng)SR100通過測量反射光譜,結(jié)合tfprobe軟件建模能力可獲得薄膜性質(zhì)。TFProbe系列光譜反射工具具有許多特點(diǎn)，如長工作距離、工作距離可調(diào)、大平臺尺寸、可選擇的光源和可調(diào)光源強(qiáng)度等。簡單的附加功能也可選，如傳輸、曲面測量適配器、多通道、大或小光束設(shè)置等等

產(chǎn)品參數(shù)：

波長范圍	25-~1100nm
現(xiàn)貨尺寸	500μm~5mm
樣品尺寸	直徑200*200mm或200mm
底材尺寸	厚度可達(dá)50mm
可測量厚度范圍	50μm
測量時(shí)間	2ms最小
精度	優(yōu)于0.25%
重復(fù)性	＜1A