SuperViewW1光學(xué)3D表面粗糙度檢測儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的光學(xué)檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理,能對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。
SuperViewW1采用經(jīng)國家計(jì)量檢測研究院校準(zhǔn)的臺階高標(biāo)準(zhǔn)片作為測量標(biāo)準(zhǔn)件,采用該標(biāo)準(zhǔn)片對儀器的檢測精度和重復(fù)性進(jìn)行驗(yàn)收,其中臺階高標(biāo)準(zhǔn)片高度在4.7um左右,測量精度要求為<0.75%,重復(fù)精度要求<0.1%(1σ)(測量15次獲取的數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)差),主要用于對樣品表面的2D、3D形貌進(jìn)行測量,主要測量參數(shù)為粗糙度、臺階高、幾何輪廓等。支持自動聚焦功能,只需將Z向調(diào)到貼近樣品表面(小于鏡頭工作距離),選擇好聚焦范圍,即可自動聚焦到樣品清晰成像表面并獲取干涉條紋。
產(chǎn)品功能
1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;
2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能;
3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能;
4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;
5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
粗糙度的特征表面測量
如圖是涂覆在電極棒的催化劑表面全景圖,整體尺寸在7mm左右,中心的催化劑區(qū)域呈低反射率特點(diǎn),而圓環(huán)外呈高反射率特點(diǎn),整體的輪廓尺寸和微觀的輪廓起伏反映了涂覆的質(zhì)量。
根據(jù)測量精度要求,可將SuperViewW1光學(xué)3D表面粗糙度檢測儀的重建算法切換為高速掃描的FVSI重建算法,并可依據(jù)表面粗糙程度,選擇不同步距進(jìn)行速度調(diào)節(jié)。
數(shù)秒內(nèi),SuperViewW1可以獲得平面和曲面表面上測量所有常見的粗糙度參數(shù)。也可以選擇拼接功能軟件升級來組合多個影像以提供大面積測量。從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)?!耙娨蝗~而知深秋,窺一斑而見全豹" 這句話用來形容中圖儀器在超精密加工顯微測量場景中發(fā)揮的作用恰如其分。