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SuperViewW1白光干涉儀光學(xué)測量儀

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參考價: ￥ 960000

訂貨量: ≥1 臺

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更新時間：2023-03-21 13:40:03瀏覽次數(shù)：488次

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  顯微測量儀

白光干涉儀

共聚焦顯微鏡

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深圳市中圖儀器股份有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：100條

所在地區(qū)：廣東深圳市

聯(lián)系人：精密儀器儀（中圖儀器）

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品種類	臺式	數(shù)顯功能	有
產(chǎn)地	國產(chǎn)	溫控功能	有

SuperViewW1白光干涉儀重建算法自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統(tǒng)的配合下，分辨率可達(dá)0.1nm；雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設(shè)計，既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作，可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動，同時內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動，確保儀器在車間也能正常工作。

詳細(xì)介紹

中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀主要是用于測量表面形貌或測量表面輪廓，此外還具有測量晶圓翹曲度的功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。既可以用于科學(xué)研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能；

3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能；

4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

SuperView W1輪廓測量儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)，適用于對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

應(yīng)用

1、用于太陽能電池測量；

2、用于半導(dǎo)體晶圓測量；

3、用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness)測量；

4、用于機(jī)械部件的計量；

5、用于塑料，金屬和其他復(fù)合型材料工件的測量。

SuperViewW1白光干涉儀是目前三維形貌測量領(lǐng)域高精度的檢測儀器之一。在同等放大倍率下，測量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。在一些納米或者亞納米級別的超高精度加工領(lǐng)域，除了白光干涉儀，其它儀器達(dá)不到檢測的精度要求。

重建算法自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統(tǒng)的配合下，分辨率可達(dá)0.1nm；雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設(shè)計，既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作，可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動，同時內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動，確保儀器在車間也能正常工作。