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光學(xué)機(jī)床激光干涉儀

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參考價: ￥ 280000

訂貨量: ≥1 臺

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號SJ6000

品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所在地深圳市

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更新時間：2023-05-24 15:06:23瀏覽次數(shù)：419次

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  激光測量儀

激光干涉儀

激光跟蹤儀

MicroD激光測距儀

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深圳市中圖儀器股份有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：100條

所在地區(qū)：廣東深圳市

聯(lián)系人：精密儀器儀（中圖儀器）

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地	國產(chǎn)	光源頻率	雙頻

中圖儀器SJ6000光學(xué)機(jī)床激光干涉儀可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。

詳細(xì)介紹

激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對米進(jìn)行定義。它采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

中圖儀器SJ6000光學(xué)機(jī)床激光干涉儀集光、機(jī)、電、計算機(jī)等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實現(xiàn)高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償；采用高性能計算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、簡潔化的記錄管理?/p>

產(chǎn)品配置

SJ6000光學(xué)機(jī)床激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。

主要鏡組圖.png

▲主要鏡組圖

其中，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。

技術(shù)規(guī)格

穩(wěn)頻精度	0.05ppm
動態(tài)采集頻率	50 kHz
預(yù)熱時間	≤ 6分鐘
工作溫度范圍	(0~40)℃
存儲溫度范圍	(-20~70)℃
環(huán)境濕度	(0~95)%RH
線性測量距離	(0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件)
線性測量精度	0.5ppm (0~40)℃
角度軸向量程	(0~15)m
角度測量精度	±(0.02%R+0.1+0.024M)″
平面度軸向量程	(0~15)m
平面度測量精度	±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)
直線度軸向量程	短距離(0.1~4.0)m;長距離(1.0~20.0)m
直線度測量精度	短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm
垂直度軸向量程	短距離(0.1～3.0)m;長距離(1.0～15.0)m
垂直度測量精度	短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m