鉻金薄膜的蒸鍍生長。本文所研究的叉指電極結構采用鉻、金材料制作。首先需要在玻璃襯底上生長一層均勻覆蓋的薄膜。將上一步工藝過程中清洗好的玻璃片放入電子束蒸發(fā)鍍膜機中，抽真空后，先蒸鍍 50 厚度的鉻金屬層，再蒸鍍1000#197; 厚度的金層，后升溫到 300℃進行熱處理以增強鉻金層的黏附性。鉑金叉指電*低溫探針臺是一款專門用于叉指電極的經濟型探針臺。

詳細介紹

鉻金薄膜的蒸鍍生長。本文所研究的叉指電極結構采用鉻、金材料制作。首先需要在玻璃襯底上生長一層均勻覆蓋的薄膜。將上一步工藝過程中清洗好的玻璃片放入電子束蒸發(fā)鍍膜機中，抽真空后，先蒸鍍 50 厚度的鉻金屬層，再蒸鍍1000? 厚度的金層，后升溫到 300℃進行熱處理以增強鉻金層的黏附性。
紫外光刻。首先利用勻膠機在玻璃襯底表面旋涂一層均勻的光刻膠，厚度大約為 1~2μm，然后利用光刻機設備以及已制備好叉指電極圖形的光刻板在玻璃片表面進行紫外曝光工藝，然后在顯影液中顯影得到掩模圖形。完成光刻后，在鉻金金屬薄膜表面上就形成光刻膠的電極圖案。

叉指電極是指狀或梳狀的面內有周期性圖案的電極，它是通過電化學工藝加工獲得的超精細電路。作為電信號傳輸核心部件，廣泛應用于生物醫(yī)療檢測、環(huán)境在線監(jiān)測，食品安全檢測，安全監(jiān)測等重要領域。

鉑金叉指電*低溫探針臺

鉑金叉指電*低溫探針臺KT-Z4019MRL4T 參數

真空腔體
類型	高溫型室溫到400℃	高低溫型室溫到400℃ 室溫到-196℃
腔體材質	304不銹鋼 6061鋁合金可選
腔體內尺寸	127mmX57mmX20mm
腔體外尺寸	150mmX80mmX32mm
腔體重量	不銹鋼材質約1.5KG 鋁合金材質約0.5KG
腔體上視窗尺寸	Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）
腔體抽氣口	KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉接）
腔體真空測量口	KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉接）
腔體進氣口	6mm快擰或 6mm快插
腔體冷卻方式	腔體水冷+上蓋氣冷
腔體水冷接口
腔體正壓	≤0.05MPa
腔體真空度	機械泵≤5Pa （5分鐘）分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
樣品臺
樣品臺材質	不銹鋼銀銅合金純銀塊	銀銅合金純銀塊
樣品臺尺寸	26x26mm
樣品臺加熱方式	電阻加熱	電阻加熱液氮制冷
樣品臺-視窗距離	11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm）
樣品臺測溫傳感器	PT100型熱電阻
樣品臺溫度	室溫到400℃	室溫到400℃ 室溫到-196℃
樣品臺測溫誤差	±0.5℃
樣品臺升溫速率	高溫100℃/min 值低溫7℃/min
溫控儀
溫度顯示	7寸人機界面
溫控類型	標準PID溫控 +自整定
溫度分辨率	0.1℃
溫控精度	±0.5℃
溫度信號輸入類型	PT100 （可選K S B型熱電偶）
溫控輸出	直流線性電源加熱	直流線性電源加熱+液氮流速控制器
輔助功能	溫度數據采集并導出實時溫度曲線+歷史溫度曲線可擴展真空讀數接口
溫控器尺寸	32cmX170cmX380cm
溫控器重量	約5.6KG
探針
電信號接頭	配線轉接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭香蕉插頭線長1.2米
電學性能	絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
探針數量	4探針（可擴展5探針）
探針材質	鍍金鎢針（其他材質可選）
探針尖	10μm
手動探針移動平臺
X軸移動行程	20mm ±10mm（需手動推動滑臺）
X軸控制精度	≥500μm
R軸移動行程	120° ±60°（需手動旋轉探針桿）
R軸控制精度	≥500μm
Z軸移動行程	2mm ±1mm
Z軸控制精度	≤50μm（需手動螺紋調節(jié)探針桿）