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納米通用圖形發(fā)生器

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參考價: ￥ 450000

訂貨量: ≥1 臺

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號DY-2000A

品牌其他品牌

廠商性質生產(chǎn)商

所在地北京市

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更新時間：2024-04-09 09:21:02瀏覽次數(shù)：138次

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北京中科復華科技有限公司

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商鋪產(chǎn)品：12條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：陳經(jīng)理（銷售經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地	國產(chǎn)

圖形發(fā)生器+SEM(FIB)=簡易電子束曝光系統(tǒng)（EBL）保留電鏡原有功能。

詳細介紹

一種圖形發(fā)生器，用于電子束、離子

束等帶電粒子的曝光機，屬于曝光機的圖形

發(fā)生器硬件。本實用新型提供一種運算速度

快、接口簡單、功耗低、功能多樣的曝光機

用的圖形發(fā)生器，它以高速數(shù)字信號處理器

為核心，通過通用串行總線接口和上位機實現(xiàn)通訊，該圖形發(fā)生器不僅可以滿足以三角形，矩形和梯形為基本曝光單元圖形的曝光格式，而且增加了圓及圓環(huán)為具本曝光單元圖形，解決了集成光柵器件加工在速度度和精度上存在的缺陷。本實用新型由接口電路、雙端口存儲器電路、數(shù)學信號處理器電路、數(shù)模轉換電路、曝光標記檢測控制電路、標記檢測電路、最終曝光數(shù)據(jù)寄存器單元和束閘控制電路相互連接構。

曝光精度：100納米