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北京卓立漢光儀器有限公司
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北京卓立漢光儀器有限公司
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號OPTM 系列
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地北京市
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更新時(shí)間：2024-04-12 12:29:07瀏覽次數(shù)：160次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 環(huán)保在線OPTM 系列顯微分光膜厚儀使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過反射率進(jìn)行測量，可進(jìn)行高精度膜厚度/光學(xué)常數(shù)分析?？赏ㄟ^非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度，例如各種膜、晶片、光學(xué)材料和多層膜。 測量時(shí)間上，能達(dá)到1秒/點(diǎn)的高速測量，并且搭載了即使是初次使用的用戶，也可容易出分析光學(xué)常數(shù)的軟件。
| OPTM-A1 | OPTM-A2 | OPTM-A3 | |
|---|---|---|---|
| 波長范圍 | 230 ~ 800 nm | 360 ~ 1100 nm | 900 ~ 1600 nm |
| 膜厚范圍 | 1nm ~ 35μm | 7nm ~ 49μm | 16nm ~ 92μm |
| 測定時(shí)間 | 1秒 / 1點(diǎn) | ||
| 光斑大小 | 10μm (*小約5μm) | ||
| 感光元件 | CCD | InGaAs | |
| 光源規(guī)格 | 氘燈+鹵素?zé)? | 鹵素?zé)?/td> | |
| 電源規(guī)格 | AC100V±10V 750VA（自動(dòng)樣品臺(tái)規(guī)格） | ||
| 尺寸 | 555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動(dòng)樣品臺(tái)規(guī)格之主體部分) | ||
| 重量 | 約 55kg（自動(dòng)樣品臺(tái)規(guī)格之主體部分） | ||
測量項(xiàng)目：
測量示例：SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚測量
半導(dǎo)體晶體管通過控制電流的導(dǎo)通狀態(tài)來發(fā)送信號，但是為了防止電流泄漏和另一個(gè)晶體管的電流流過任意路徑，有必要隔離晶體管，埋入絕緣膜。 SiO 2（二氧化硅）或SiN（氮化硅）可用于絕緣膜。 SiO 2用作絕緣膜，而SiN用作具有比SiO 2更高的介電常數(shù)的絕緣膜，或是作為通過CMP去除SiO 2的不必要的阻擋層。之后SiN也被去除。 為了絕緣膜的性能和精確的工藝控制，有必要測量這些膜厚度。
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