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微波等離子體 去膠機 PVA TePla LED外延芯片設備

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱北京哲勤科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號IoN Wave 1
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質經銷商
  • 更新時間2023/5/29 16:53:32
  • 訪問次數2103
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北京哲勤科技有限公司成立于2003年,是一家專業(yè)從事真空技術及相關儀器設備研制、開發(fā)、生產和貿易為一體的綜合性企業(yè)。目前在北京、上海、廣州設有辦公室和備品備件庫。

哲勤科技成立以來,即與國內外真空相關儀器設備生產廠商保持良好合作關系,是德國在線質譜公司(InProcess GmbH),德國普發(fā)拓普公司(PVA TePla AG),瑞士HSR公司重要合作伙伴,并與德國普發(fā)公司(PFEIFFER VACUUM GmbH),英福康公司,美國CVI公司,英國Edwards公司保持良好合作關系。

目前哲勤科技分為真空、質譜、等離子體三個部門。

真空部門主要為客戶提供各種定制化的非標準真空儀器設備及代理銷售各種真空泵、低溫泵。

質譜部門主要提供源于原瑞士巴爾采司技術的全系列的四極質譜儀,包括真空殘余氣體分析儀、高級分析四極質譜儀、小型在線四級質譜儀工業(yè)離線和在線四極質譜儀以及實驗室用四極質譜儀。

等離子體部門代理PVA TePla 公司各種等離子體設備,包括常壓等離子體設備、射頻等離子體設備、微波等離子體設備。

 哲勤公司的產品已廣泛應用于化工冶金、電子制造、光學器件、半導體、納米科學、食品醫(yī)療、通用工業(yè)、科學研究等領域,

 

公司始終以客戶的要求為準則,憑借專業(yè)的知識,豐富的經驗,優(yōu)良的產品,誠信的服務為用戶提供高質量高標準的儀器設備和服務。

等離子設備,質譜儀,真空設備
IoN Wave 10 等離子體去膠機是PVA TePla 在微波等離子體處理工藝中的產品。該批次式晶圓灰化設備成本低廉、尺寸適用、性能*。
IoN Wave 10 使用的、性能出色的組件和軟件,可對工藝參數進行精確控制。其工藝監(jiān)測和數據采集軟件可實現Z嚴格的質量控制。
IoN Wave 10 占地面積小,安裝維護簡單。依靠微波等離子體技術,提供*的光刻膠灰化速度。
微波等離子體 去膠機 PVA TePla LED外延芯片設備 產品信息

PVA-TePla微波等離子體去膠機(*),性能穩(wěn)定,去膠均勻。

 

 

 

 

典型應用:

去除光刻膠 Photo-resist stripping

去除殘膠 Wafer descum

晶圓和襯底的清潔 Wafer and substrate cleaning

su-8灰化 Su-8 ashing

氮化硅、聚酰亞胺等的刻蝕 Etching of silicon nitride, pi, etc.

刻蝕鈍化層 Etching of passivation layers

逆向分析/失效分析中的器件開封 Device decapsulation for failure analysis

微量分析中低溫材料灰化 low temperature ashing of materials for chemical trace analysis

過濾器和薄膜的清潔 Cleaning of filters and membranes

 


規(guī)格參數:

2.45GHz風冷微波電源(0~600w可調),

石英或陶瓷腔體,

防腐蝕不銹鋼MFC,

多至6路氣體,

兼容8英寸及以下晶圓

PC 工控機控制,運行數據自動存儲;分級控制權限,防止操作

圖形化觸控屏界面,運行狀態(tài)圖形化實時顯示。

自動/手動隨意切換

可選配法拉第桶

可選配溫控系統

可選配壓力控制系統

外形尺寸:775×749×781 mm

 認證:

CE 認證

EN 61010

EN 61326

Semi E95

ISO 9001

關鍵詞:工控機
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