PVA-TePla 射頻等離子體清洗機（*）
型號：IoN 40 (M4L 升級版)， IoN 100, IoN 100WB, IoN 300
典型應(yīng)用：
表面精密清潔 Surface Precision Cleaning
表面活化 Surface Modification
提高表面粘合性 Bond Strength Enhancements
改變表面親水性/疏水性 Hydrophilic/Hydrophobic
分子接枝 Molecular Grafting
涂層 Plasma Deposited Coatings
去除光刻膠 Photo-resist Stripping
規(guī)格參數(shù)：
13.56MHz風(fēng)冷射頻電源（0～600w可調(diào)，可選0～300W，0-1000W），
高靈敏快速自動匹配功能
陽極表面處理鋁制腔體，
水平抽卸極板/垂直極板/側(cè)壁極板/水冷極板，
不銹鋼防腐蝕MFC，
多至6路氣體，
分級密碼權(quán)限管理，
PC工控機控制，運行數(shù)據(jù)自動存儲，
局域網(wǎng)數(shù)據(jù)庫自動導(dǎo)入，
系統(tǒng)自動升級、更新，
觸控屏圖形化界面
外形尺寸：775×723×781 mm
可選配法拉第桶
可選配壓力控制系統(tǒng)
可選汽相MFC
可選高精度真空規(guī)，
可選液態(tài)單體操作裝置
認(rèn)證：
CE 認(rèn)證
EN 61010
EN 61326
Semi E95
USP Class VI
FDA CFR Title 21 Part 11
CISPR 55011
ISO 9001
NFPA79
NFPA70
