Prep-5型 等離子清洗/刻蝕機
真空艙體 Φ150mm × L320 mm 水平 （5 升
*石英/玻璃艙體Φ130mm,L300mm艙體容量：約4升/5升
* 不銹鋼艙體
* 40KHz 射頻發(fā)生器
* 高效針孔電極
* 數(shù)字計時器可自動設(shè)定操作程序
* 皮拉尼真空泵可設(shè)定重復(fù)操作
* 銅氣體管、氣體流量計、 針閥
* 使用氣體流量計和針閥控制氣體
* 自動計時器控制等離子處理過程
* 半自動控制
* 功率連續(xù)可調(diào) 0-200W
* 自動阻抗匹配
* 自由設(shè)置參數(shù)：處理時間、功率、氣體
* 安全保護功能：真空觸發(fā)、艙門鎖
* 不銹鋼艙體
* 40KHz 射頻發(fā)生器
* 高效針孔電極
* 數(shù)字計時器可自動設(shè)定操作程序
* 皮拉尼真空泵可設(shè)定重復(fù)操作
* 銅氣體管、氣體流量計、 針閥
* 使用氣體流量計和針閥控制氣體
* 自動計時器控制等離子處理過程
* 半自動控制
* 功率連續(xù)可調(diào) 0-200W
* 自動阻抗匹配
* 自由設(shè)置參數(shù)：處理時間、功率、氣體
* 安全保護功能：真空觸發(fā)、艙門鎖
* 電磁閥保護，回流油霧不能進入反應(yīng)艙
* 規(guī)格：W550 mm × H330 mm × D500 mm
* 電源：AC 220V/50Hz
* 真空泵：萊寶Leybold Type Trivac D2.5B （2.5 m3/h）
選裝件
* 13.56 MHz 射頻發(fā)生器
* 2.45 GHz 射頻發(fā)生器
* 硅酸鹽艙體（外置環(huán)形電極）或石英艙體
* 規(guī)格：W550 mm × H330 mm × D500 mm
* 電源：AC 220V/50Hz
* 真空泵：萊寶Leybold Type Trivac D2.5B （2.5 m3/h）
選裝件
* 13.56 MHz 射頻發(fā)生器
* 2.45 GHz 射頻發(fā)生器
* 硅酸鹽艙體（外置環(huán)形電極）或石英艙體
配件選裝指南
· 13.56MHz射頻發(fā)生器
· 2.45GHz射頻發(fā)生器
· 半自動控制系統(tǒng)
· 全自動控制系統(tǒng)- 操作輕松簡便的控制系統(tǒng)
· 計算機（PC）控制系統(tǒng)- 操作輕松簡便的控制系統(tǒng)同時可記錄處理的整個過程
· 附加氣體通路
· 自動真空艙門
· 設(shè)備自動門
· 條碼閱讀器
· 偏壓測量系統(tǒng)
· 碟型閥
· 排氣過濾系統(tǒng)
· 適用于腐蝕性氣體系統(tǒng)
· 艙體托盤可訂做 - 適合艙體的*尺寸
· 粉末處理裝置
· 法拉第容器
