Tetra-100-LF型 等離子清洗/刻蝕機(jī)

l  真空艙體 W400 mm × H400 mm × D625 mm （100 升）
外形尺寸W600mm ×H1800mm ×D1000mm

l  * 分層（zui多到10層） 電極-托盤
* 不銹鋼艙體
* 40KHz 射頻發(fā)生器
* 高效針孔電極
* 雙氣路，針閥
* 全自動控制
* 功率連續(xù)可調(diào) 0-2500W
* 自動阻抗匹配
* 電磁閥保護(hù)，回流油霧不能進(jìn)入艙體
* 規(guī)格：W600 mm×H2200 mm× D800 mm
* 電源：AC 380V/50Hz

l  選裝件
* 13.56 MHz 射頻發(fā)生器   * 2.45 GHz 射頻發(fā)生器  * 旋轉(zhuǎn)圓筒艙體（適用于處理顆粒狀樣品）

l  配件選裝指南

·  13.56MHz射頻發(fā)生器    ·  2.45GHz射頻發(fā)生器    ·  半自動控制系統(tǒng)    ·  全自動控制系統(tǒng)- 操作輕松簡便的控制系統(tǒng)

·  計算機(jī)（PC）控制系統(tǒng) - 操作輕松簡便的控制系統(tǒng)同時可記錄處理的整個過程    ·  附加氣體通路    ·  自動真空艙門   ·  設(shè)備自動門

·  條碼閱讀器    ·  偏壓測量系統(tǒng)    ·  碟型閥    ·  排氣過濾系統(tǒng)    ·  適用于腐蝕性氣體系統(tǒng)    ·  艙體托盤可訂做 - 適合艙體的*尺寸

·  粉末處理裝置    ·  法拉第容器    ·  氣體供給系統(tǒng) - 在等離子聚合過程中提供密度均勻的單體    ·  玻璃艙體（硅酸鹽或石英）

·  預(yù)熱板    ·  等離子測量傳感器 - 應(yīng)用在等離子聚合過程和含腐蝕性環(huán)境中    ·  真空泵抽氣入口過濾器    ·  標(biāo)簽打印機(jī)    ·  標(biāo)簽閱讀機(jī)

·  加深艙體    ·  單體瓶- 輕松的控制不穩(wěn)定的液體含量    ·  網(wǎng)絡(luò)連接系統(tǒng)    ·  聚合處理附件    ·  氣瓶出氣減壓閥    ·  石英玻璃皿

·  卷軸艙體系統(tǒng)- 適用于批量處理薄膜、箔等    ·  RIE電極（適用于刻蝕）     ·  旋轉(zhuǎn)艙體系統(tǒng) - 適用于纖維、紡輪、顆粒狀等樣品的均勻、批量處理

·  安全閥

·  服務(wù)條約- 使用易燃、易爆性氣體，例如：氫氣、乙炔…

·  附加的配件

·  特殊的電極和托盤

·  特殊法蘭/附加法蘭

·  特殊軟件

·  特殊真空艙體

·  過程溫度測量

·  測試墨水（用于測試表面接觸角）      ·  真空泵系統(tǒng)