湖北瑞澤35Nm3/h氬氣純化裝置
湖北瑞澤35Nm3/h氬氣純化裝置概述
氬氣作為制作單晶及多晶硅的保護(hù)氣體,為了提高硅晶體的質(zhì)量,如何選用較高純度的氬氣,是制作硅晶體的一個議題。通過對本裝置的使用,氬氣的純度其中氧含量小于1ppm時,水分也小于1ppm時,制作出的單晶硅其氧碳含量就小于0.5ppm,這樣就提高了單晶的使用壽命并能達(dá)到要求,贏得客戶的滿意和市場的需求。
由于一般液氬汽化后未經(jīng)過純化處理,它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有時氣體供應(yīng)商提供的氬氣超過了此范圍,使用氬氣的客戶不知道其質(zhì)量,所以往往給生產(chǎn)產(chǎn)品質(zhì)量造成影響。有了氬氣純化裝置后不論氬原料氣的質(zhì)量如何,只要經(jīng)過純化裝置的處理后,進(jìn)入拉晶爐的氬氣,純度始終是恒定的。
一般氧含量小于0.5ppm,水分小于1ppm,這樣穩(wěn)定的氬氣對生產(chǎn)晶體的質(zhì)量是有保證的。
本公司也可根據(jù)客戶要求,直接做高壓的,這樣就可省掉使用模壓機(jī)增壓工序。
還可根據(jù)客戶要求,配備分析儀在線時時檢測設(shè)備中氣體純度。
設(shè)備說明
1.凈化則采用的凈化材料。其特點(diǎn)有吸附深度好,吸收雜質(zhì)氣體量大的特點(diǎn),純度可達(dá)99.9999%以上。
2.并安裝了小于1μ的金屬過濾器。保證了氣體粉末的要求。
3.本裝置的閥門采用國內(nèi)外專業(yè)閥門公司的優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品,保證了產(chǎn)品的高純度無滲透及安全可靠性。
4.設(shè)備中全部容器、管道、閥門均為不銹鋼材質(zhì)。
5.設(shè)備中的主要控制儀表全部采用國內(nèi)外*產(chǎn)品。
6.接頭采用*的高純接頭,保證了無滲透。
7.外觀設(shè)計采用流行顏色及形式,使產(chǎn)品更美觀。
8.設(shè)備可根據(jù)客戶要求在線加裝微氧分析儀和微量水分析儀使凈化后氣體得到監(jiān)測。避免了因設(shè)備問題的損失。
9.本設(shè)備在金屬保護(hù)行業(yè)、電子、電光源、科研、氣體、分析、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域以及光譜儀、氣相色譜儀、科學(xué)儀器等的配套使用設(shè)備,得到了廣泛的應(yīng)用。
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售后服務(wù)
為了解除用戶選用我公司產(chǎn)品的后顧之憂,我們一貫奉行如下的滿意服務(wù)標(biāo)準(zhǔn)。
1. 如果產(chǎn)品本身存在任何質(zhì)量問題,我公司負(fù)責(zé)包修,包換,包退;
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