半導(dǎo)體設(shè)備濾芯是用于半導(dǎo)體設(shè)備中對(duì)進(jìn)入或排放的氣體或液體進(jìn)行過(guò)濾和凈化的關(guān)鍵部件。它能夠有效過(guò)濾微小顆粒、液滴和氣味，并能去除空氣和水分中的各種雜質(zhì)和污染物，保護(hù)設(shè)備和制品的純度和品質(zhì)。
半導(dǎo)體行業(yè)作為高科技領(lǐng)域的重要組成部分，涉及到多個(gè)環(huán)節(jié)，其中制造環(huán)節(jié)尤為重要。在半導(dǎo)體芯片制造過(guò)程中，各種工藝步驟都需要使用高純度的氣體和液體，而這些關(guān)鍵材料的純度直接決定了芯片的品質(zhì)和性能。因此，對(duì)進(jìn)入制造設(shè)備的氣體和液體進(jìn)行過(guò)濾和凈化，是確保產(chǎn)品品質(zhì)和工藝穩(wěn)定性的重要保證。
半導(dǎo)體設(shè)備濾芯原理：
過(guò)濾器工作時(shí)，待過(guò)濾的水由水口進(jìn)入，流經(jīng)濾網(wǎng)，通過(guò)出口進(jìn)入用戶(hù)所須的管道進(jìn)行工藝循環(huán)，水中的顆粒雜質(zhì)被截留在濾網(wǎng)內(nèi)部。如此不斷的循環(huán)，被截留下來(lái)的顆粒越來(lái)越多，過(guò)濾速度越來(lái)越慢，而進(jìn)口的污水仍進(jìn)入，濾孔會(huì)越來(lái)越小，由此在進(jìn)、出口之間產(chǎn)生壓力差，當(dāng)大度差達(dá)到設(shè)定值時(shí)，差壓變送器將電信號(hào)傳送到控制器，控制系統(tǒng)啟動(dòng)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)通過(guò)傳動(dòng)組件帶動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)排污口打開(kāi)，由排污口排出，當(dāng)濾網(wǎng)清洗完畢后，壓差降到小值，系統(tǒng)返回到初始過(guò)濾狀，系統(tǒng)正常運(yùn)行。過(guò)濾器由殼體、多元濾芯、反沖洗機(jī)構(gòu)、和差壓控制器等部分組成。
殼體內(nèi)的橫隔板將其內(nèi)腔分為上、下兩腔，上腔內(nèi)配有多個(gè)過(guò)濾芯，這樣充分了過(guò)濾空間，顯著縮小了過(guò)濾器的體積，下腔內(nèi)安裝有反沖洗吸盤(pán)。工作時(shí)，濁液經(jīng)入口進(jìn)入過(guò)濾器下腔，又經(jīng)隔板孔進(jìn)入濾芯的內(nèi)腔。大于過(guò)濾芯縫隙的雜質(zhì)被截留，凈液穿過(guò)縫隙到達(dá)上腔，后從出口送出。
半導(dǎo)體設(shè)備濾芯的類(lèi)型和種類(lèi)繁多，涉及到多種材質(zhì)和過(guò)濾原理。常見(jiàn)的濾芯包括機(jī)械濾芯、活性炭濾芯和超精濾芯等。其中，機(jī)械濾芯利用過(guò)濾網(wǎng)和纖維材料過(guò)濾顆粒和液滴，適用于顆粒大小較大的氣體和液體過(guò)濾?；钚蕴繛V芯采用吸附原理去除雜質(zhì)和氣味，適用于凈化空氣和不易被捕捉的氣體或液體。超精濾芯則是使用微孔石英或鋯石等特定材料，過(guò)濾顆粒和液滴細(xì)小到納米級(jí)別，可用于高純度氣體和液體的制造和輸送。
在半導(dǎo)體設(shè)備中，濾芯的作用與價(jià)值不言而喻。半導(dǎo)體芯片的制造過(guò)程需要用到諸多高純度氣體和液體，如制作硅片時(shí)用的氣體，制作光刻膠時(shí)用的液體及氣體等等，若其中出現(xiàn)一些微小顆粒、煙灰甚至是空氣雜質(zhì)，就可能影響制造質(zhì)量及成品的性能，因此在這個(gè)過(guò)程中使用濾芯是非常必要的。
