智能模塊化設(shè)計(jì)
CCU-010是一種緊湊型全自動(dòng)高真空離子濺射儀，同時(shí)可以通過更換靶頭作為高真空碳鍍膜機(jī)進(jìn)行使用，使用非常簡(jiǎn)單。由于的插件概念，該設(shè)備很容易配置濺射或蒸發(fā)，只需更換工藝頭。涂層前后可進(jìn)行等離子處理。模塊化設(shè)計(jì)使得避免金屬和碳沉積之間的交叉污染變得容易。CCU-010有一個(gè)靜態(tài)樣品臺(tái)，包括高度調(diào)節(jié)和傾斜。它可以安裝一個(gè)可選的變速旋轉(zhuǎn)階段或旋轉(zhuǎn)行星階段，每個(gè)選擇持有不同的樣本和存根類型。在所有樣品階段，膜厚監(jiān)測(cè)都作為標(biāo)準(zhǔn)。
多樣性的真空互聯(lián)
CCU-010HV高真空離子濺射儀覆蓋了所有性能的掃描電子顯微鏡、透射電鏡和薄膜應(yīng)用。模塊化設(shè)計(jì)讓常規(guī)真空系統(tǒng)轉(zhuǎn)換到高真空系統(tǒng)非常方便。
簡(jiǎn)單操作、維護(hù)方便
打開包裝，連接并啟動(dòng)！即插即用的概念允許您自己?jiǎn)?dòng)設(shè)備。你只需要接通電源和處理氣體。通過集成的USB服務(wù)接口，服務(wù)技術(shù)人員可以通過互聯(lián)網(wǎng)連接在現(xiàn)場(chǎng)或遠(yuǎn)程運(yùn)行快速錯(cuò)誤分析。模塊化設(shè)置允許直接更換有缺陷的部件。
操作簡(jiǎn)單、維護(hù)方便
打開包裝，連接并啟動(dòng)！即插即用的概念允許您自己?jiǎn)?dòng)設(shè)備。你只需要接通電源和處理氣體。通過集成的USB服務(wù)接口，服務(wù)技術(shù)人員可以通過互聯(lián)網(wǎng)連接在現(xiàn)場(chǎng)或遠(yuǎn)程運(yùn)行快速錯(cuò)誤分析。模塊化設(shè)置允許直接更換有缺陷的部件。
?自動(dòng)閥門控制兩種氣體的排放過程。
?可選擇速度控制旋轉(zhuǎn)或行星齒輪臺(tái)，用于固定不同類型的試樣和樣品臺(tái)。
?視覺化設(shè)計(jì)的用戶軟件界面，具有多種一鍵功能操作。
?基于Windows軟件的涂層軟件LAB，可以進(jìn)行數(shù)字化的涂層結(jié)構(gòu)編輯。
?如果系統(tǒng)關(guān)閉或斷電（如果使用無(wú)油泵操作），您可以保持系統(tǒng)處于真空狀態(tài)。
?在斷電情況下自動(dòng)排放系統(tǒng)的功能，防止系統(tǒng)受到備用泵油的污染（如果使用油封泵操作?簡(jiǎn)單的插入式電氣和氣動(dòng)接口，用于將涂層頭連接至基本單元，允許在幾秒鐘內(nèi)在模塊之間進(jìn)行交換。
?程序會(huì)自動(dòng)識(shí)別并將調(diào)出所需要的菜單。
技術(shù)指標(biāo)
外形尺寸： | 580×360×350mm | 真空測(cè)量： | 皮拉尼計(jì)和冷陰極壓力計(jì) |
儀器重量： | 32kg | 控制模式： | 自動(dòng)觸摸屏Windows軟件系統(tǒng) |
電源要求 | 100-240VAC | 靶材尺寸： | φ54mm |
倉(cāng)室尺寸： | φ120 | 濺射電流： | 10-100mA |
真空泵： | 集成式渦輪分子泵 | 濺射時(shí)間： | ≤900s |
極限真空： | 2×10^(-6)mbar/2×10^(-4)Pa | 供氣選項(xiàng)： | 氬氣、氮?dú)?、空氣等可選 |
