常規(guī)屬性
系統(tǒng)描述:對振動不敏感的動態(tài)表面輪廓儀
采集模式:采用相位相關(guān)探測器的瞬時相移式
核心技術(shù):相移干涉技術(shù)(PSI)
光源:460nm LED
相機像素:1.6MP, 12-bit
外形尺寸:24 cm × 24 cm × 8 cm
重量:4.6 kg
系統(tǒng)性能
最小曝光時間:<100µsec
垂直測量范圍:115nm step
RMS重復(fù)性:<0.005nm
RMS精度:<0.1nm
配置選項
物鏡 :可選0.9X,2X,5X,10X,20X,50X(相見列表)
三腳架:可選操縱桿控制的三腳架,帶傾斜/俯仰/垂直調(diào)節(jié)
校準(zhǔn)鏡:超光滑參考鏡
加長線纜:5m或10m
長工作距離干涉物鏡
放大倍率 | 0.9X | 2.0X | 5X | 10X | 20X | 50X |
數(shù)值孔徑 | 0.026 | 0.055 | 0.15 | 0.30 | 0.45 | 0.8 |
工作距離(mm) | 15.0 | 23.0 | 23.0 | 17.0 | 0.51 | 0.29 |
460nm處的分辨率(um) | 8.8 | 4.2 | 1.5 | 0.77 | 0.51 | 0.29 |
空間采樣(um) | 8.2 | 3.7 | 1.5 | 0.74 | 0.37 | 0.15 |
視場角(mm) | 9.9 | 4.4 | 1.8 | 0.90 | 0.44 | 0.18 |