簡介
scia Magna 700 磁控濺射鍍膜系統(tǒng)是專門為高精度光學(xué)多層膜制造而設(shè)計的,在直徑為Φ680mm以內(nèi)的平面或曲面基底上,鍍制超過100個周期的超薄多層膜,可以鍍高精度均勻膜或漸變膜。配以自動化的樣品裝載loadlock機(jī)構(gòu),可以縮短裝載時間并提高產(chǎn)能。
常規(guī)屬性
- 磁控濺射技術(shù)利用等離子體離子轟擊濺射靶材,從而在樣品基底表面沉積薄膜
- 利用同步樣品公轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)在曲面襯底上形成均勻或梯度薄膜
- 有6個磁控源,每個磁控源都有單獨(dú)的外殼,以獨(dú)立供氣并設(shè)定各自的粒子濺射曲線
- 可選預(yù)處理離子源
- 帶有l(wèi)oadlock的樣品載具操作機(jī)構(gòu),具有2個獨(dú)立的樣品工位
- 樣品面朝下裝載,以減小粒子污染
系統(tǒng)性能