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雙離子束濺射鍍膜機 Coat 500 德國scia Systems

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱北京歐唐科技發(fā)展有限公司
品牌
型號Coat 500
所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時間2023/7/6 14:36:22
訪問次數(shù)262

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北京歐唐科技發(fā)展有限公司（歐唐科技），成立于2007年，致力于光學(xué)精密制造與檢測領(lǐng)域，歐唐科技有著幾十年的光學(xué)領(lǐng)域研發(fā)經(jīng)驗，與業(yè)內(nèi)經(jīng)驗豐富的專家保持良好的合作關(guān)系，可以為相關(guān)領(lǐng)域提供技術(shù)咨詢服務(wù)我們不僅代理儀器設(shè)備與軟件，同時也應(yīng)客戶的需求，研發(fā)定制的儀器與裝置。

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簡介sciaCoat500雙離子束濺射鍍膜機，用于精密光學(xué)的大尺寸基板的高均勻性鍍膜，菜單控制的沉積過程可保證鍍膜質(zhì)量的重復(fù)性

雙離子束濺射鍍膜機 Coat 500 德國scia Systems 產(chǎn)品信息

簡介

scia Coat 500雙離子束濺射鍍膜機，用于精密光學(xué)的大尺寸基板的高均勻性鍍膜，菜單控制的沉積過程可保證鍍膜質(zhì)量的重復(fù)性。最多可以允許4種擋板，可以提高均勻性，也可以沉積設(shè)計的梯度薄膜。

常規(guī)屬性

- 主離子源用于濺射靶材到樣品基底上，沉積成膜；次離子源用于樣品表面離子束轟擊清洗或輔助鍍膜。

- 可沉積介質(zhì)和金屬膜，用于光學(xué)濾波器、X射線反射鏡、同步輻射鏡等

- 可沉積漸變膜（比如Gobel 鏡）

- 具有在線基底預(yù)處理（刻蝕、清洗、平滑化）功能

- 通過基板旋轉(zhuǎn)與線性運動的疊加，可以獲得的沉積均勻性

- 轉(zhuǎn)鼓靶架上最多可有6個水冷靶材料，用于在線更換

- 使用石英晶振和/或光學(xué)厚度監(jiān)視器（OTM），菜單式控制多層膜沉積

- 通過線性軸運動控制系統(tǒng)，可以實現(xiàn)梯度薄膜沉積或表面誤差校正

- 可選襯底加熱至250°C以優(yōu)化薄膜應(yīng)力

系統(tǒng)性能