產品描述

P-17臺式探針式輪廓儀是第八代臺式探針輪廓儀，是40多年的表面量測經驗的結晶。該系統(tǒng)業(yè)界，支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達200mm而無需圖像拼接。

該系統(tǒng)結合了UltraLite^®傳感器、恒力控制和超平掃描平臺，因而具備出色的測量穩(wěn)定性。通過點擊式平臺控制、頂視和側視光學系統(tǒng)以及帶光學變焦的高分辨率相機等功能，程序設置簡便快速。P-17具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調平和分析算法，可以支持2D或3D測量。并通過圖案識別、排序和特征檢測實現(xiàn)全自動測量。

主要功能

·        臺階高度：幾納米至1000μm

·        微力恒力控制：0.03至50mg

·        樣品全直徑掃描，無需圖像拼接

·        視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像機

·        圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差

·        軟件：簡單易用的軟件界面

·        生產能力：通過測序，模式識別和SECS/GEM實現(xiàn)全自動化

主要應用

·        臺階高度：2D和3D臺階高度

·        紋理：2D和3D粗糙度和波紋度

·        形狀：2D和3D翹曲和形狀

·        應力：2D和3D薄膜應力

·        缺陷復檢：2D和3D缺陷表面形貌

工業(yè)應用

·        大學、研究實驗室和研究所

·        半導體和化合物半導體

·        LED：發(fā)光二極管

·        太陽能

·        MEMS：微機電系統(tǒng)

·        數(shù)據存儲

·        汽車

·        醫(yī)療設備

·        更多信息，請與我們聯(lián)系以滿足您的要求

提供選項

P-17 OF（開放式框架）與P-17的功能相同，但其框架更大因而允許加載更大的樣本。該系統(tǒng)可配置成300mm晶圓或240 x 240mm卡盤。