型號(hào):OTF-1200X-50S-PE
產(chǎn)品概述:OTF-1200X-50S-PE是一款小型等離子體氣相沉積管式爐系統(tǒng)(PECVD)。該設(shè)備配有等離子射頻電源,開啟式管式爐(帶有真空法蘭和連接管道)及一個(gè)直聯(lián)式雙旋機(jī)械泵。此套設(shè)備模型可組合為不同類型的PECVD系統(tǒng),且設(shè)備性價(jià)較為理想。
設(shè)備名稱 | 小型PECVD管式爐系統(tǒng)——OTF-1200X-50S-PE | ||||||||||||||||||||||||||||||||
產(chǎn)品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/strong> 4、配件妥善保管提示 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
產(chǎn)品特點(diǎn) | ? 射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度; ? 整套設(shè)備尺寸小巧; ? 可通過工藝調(diào)節(jié)來控制化學(xué)計(jì)量; ? 可通過射頻電源的頻率來進(jìn)行控制薄膜的應(yīng)力。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
加熱爐參數(shù) | ? 溫度:1100℃(<30min);連續(xù)工作溫度:1000℃; ? PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng),控溫精度:±1℃; ? 輸入電源:208- 240V AC,功率:1.2KW; ? 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,并且內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層,可以提高加熱效率,反射率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命。
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射頻電源 | ? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇,以滿足不同實(shí)驗(yàn)條件的需求。
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真空系統(tǒng) | ? 采用TRP-12的雙旋真空泵; ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵; ? 真空度可達(dá)10-2Torr。
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產(chǎn)品尺寸和重量 | ? 尺寸:1500mm L′600mm W′1200mm H ? 凈重:75 kg | ||||||||||||||||||||||||||||||||
認(rèn)證 | ? CE認(rèn)證 ? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認(rèn)證 ? 如您另外付費(fèi),我們可以保證單臺(tái)儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證
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承諾 | ? 一年質(zhì)保期,終身維護(hù)(不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件) |