型號(hào):OTF-1200X-50S-PE-SL
產(chǎn)品概述:OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型滑動(dòng)開啟式PECVD系統(tǒng)。此套設(shè)備配有等離子射頻電源,直徑為50mm的開啟式管式爐(帶有真空法蘭和連接管道)及機(jī)械泵組成。該設(shè)備模型可更新為不同類型的PECVD 系統(tǒng),且設(shè)備性價(jià)比較為理想。
設(shè)備名稱 | 小型滑動(dòng)PECVD管式爐系統(tǒng)—OTF-1200X-50S-PE-SL | ||||||||||||||||||||||||||||||||
產(chǎn)品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/strong> 4、配件妥善保管提示 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
產(chǎn)品特點(diǎn) | ? 射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度; ? 可通過爐體滑動(dòng)達(dá)到快速升溫和降溫; ? 可通過射頻電源的頻率來控制薄膜的應(yīng)力; ? 可通過工藝調(diào)節(jié)來控制化學(xué)計(jì)量; ? 可沉積各種材料,如SiOx, SiNx, SiOxNy 和(a-Si:H) 等。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
相關(guān)視頻 |
展示視頻 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
加熱爐參數(shù) | ? 溫度:1100℃(<30min);連續(xù)工作溫度:1000℃; ? PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng),控溫精度:±1℃; ? 輸入電源:208- 240V AC,功率:1.2KW; ? 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,并且內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層,可以提高加熱效率,反射率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命(點(diǎn)擊文字了解涂層的詳細(xì)參數(shù))。
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射頻電源 | ? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇,以滿足不同實(shí)驗(yàn)條件的需求。
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真空系統(tǒng) | ? 采用TRP-12的雙旋真空泵; ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵; ? 真空度可達(dá)10-2Torr。
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供氣系統(tǒng) | ? 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%); ? 流量范圍:
? 電壓:208-240V, AC, 50/60Hz; ? 氣體進(jìn)出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管; ? 不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出; ? PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。
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產(chǎn)品尺寸和重量 | ? 尺寸:1500mm L′600mm W′1200mm H ? 凈重:160 kg ? 運(yùn)輸重量:220 kg | ||||||||||||||||||||||||||||||||
認(rèn)證 | ? CE認(rèn)證 ? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認(rèn)證 ? 如您另外付費(fèi),我們可以保證單臺(tái)儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證
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承諾 | ? 一年質(zhì)保期,終身維護(hù)(不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件) |