型號:OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL
產(chǎn)品概述:OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL是一款雙溫區(qū)的PECVD管式爐系統(tǒng),組成部分為500W的射頻發(fā)生器、滑動速度可控的雙溫區(qū)滑軌爐,預(yù)熱爐(作用為使固體原料蒸發(fā))和德國進(jìn)口的無油泵。此款PECVD對于生長納米線或用CVD方法來制作各種薄膜是一款新的探索工具。
設(shè)備名稱 | 帶有預(yù)熱系統(tǒng)的滑動PECVD—OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL (2019.12.11—科晶實(shí)驗(yàn)室審核) | ||||||||||||||||||||||||||||||||
產(chǎn)品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請?zhí)崾?/strong> 4、配件妥善保管提示 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
產(chǎn)品特點(diǎn) | ? 與普通CVD相比較,其沉積溫度大大降低,減少了高溫對薄膜的損壞; ? 可通過爐體滑動來達(dá)到快速升溫和快速降溫的效果; ? 爐體有兩個溫區(qū),可在爐體內(nèi)形成溫度梯度,兩個溫區(qū)溫差為400℃; ? 帶有預(yù)熱爐,氣體可通過此爐預(yù)熱也可將液體蒸發(fā)氣化或固體原料升華后與氣體原料混合。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
加熱爐參數(shù) | ? 連續(xù)工作溫度為1100℃ ? 兩個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng),控溫精度:±1℃;兩個溫區(qū)溫差為:400℃ ? 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的1760度高溫氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備加熱效率及反射率,同時延長儀器的使用壽命。(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料) ? 工作電源:208-240V AC單相,功率:4KW
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預(yù)熱爐參數(shù) | ? 溫度:1100℃; ? PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng),控溫精度:±1℃; ? 氣體通過等離子射頻電源前,先通過預(yù)熱爐,也可將固體和液體原料放在預(yù)熱爐中,氣化后與氣體原料相混合
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電動滑軌 | ? 可將電動滑軌安裝在爐體下端,將爐體滑動,以達(dá)到快速升溫和快速降溫的效果 ? 滑動速度:0-70 mm/s(可調(diào)) | ||||||||||||||||||||||||||||||||
升降溫速率 | ? RS485接口和控溫軟件可安裝在爐體內(nèi),將控溫程序和溫度曲線導(dǎo)入電腦中(儀器中不包含,客戶需額外出費(fèi)用在本公司購買) ? 為獲得的升溫速率,可將爐體升溫到設(shè)定溫度,然后將爐體滑到樣品放置區(qū)
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射頻電源 | ? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇,以滿足不同實(shí)驗(yàn)條件的需求。
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真空系統(tǒng) | ? 采用TRP-12的雙旋真空泵; ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵; ? 真空度可達(dá)10-2Torr。
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供氣系統(tǒng) | ? 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%); ? 流量范圍:
? 電壓:208-240V, AC, 50/60Hz; ? 氣體進(jìn)出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管; ? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進(jìn)出; ? PLC觸摸屏可以簡便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。
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產(chǎn)品尺寸和重量 | ? 爐體尺寸:550mm L ′380mm W′520mm H ? 滑軌長度:1750 mm ? 凈重:220 Lbs | ||||||||||||||||||||||||||||||||
認(rèn)證 | ? CE認(rèn)證 ? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認(rèn)證 ? 如您另外付費(fèi),我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證
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承諾 | ? 一年質(zhì)保期,終身維護(hù)(不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件) |