采用激光干涉儀對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行定位精度檢測、機(jī)床誤差修正是目前的高效、高精度的檢測方法。如何利用激光干涉儀進(jìn)行機(jī)床定位精度檢測和補(bǔ)償進(jìn)行機(jī)床修正?
中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)出的超精密SJ6000機(jī)床激光干涉儀,具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下,還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測,如可以測量數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動(dòng)態(tài)參量,可以進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測試與分析,滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析,驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析,導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等,具有的精度和效率,而且及時(shí)處理數(shù)據(jù),為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。
中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)出的超精密SJ6000機(jī)床激光干涉儀,具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下,還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測,如可以測量數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動(dòng)態(tài)參量,可以進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測試與分析,滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析,驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析,導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等,具有的精度和效率,而且及時(shí)處理數(shù)據(jù),為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。
產(chǎn)品參數(shù)
技術(shù)指標(biāo)
位置精度測量分為反向間隙測量、重復(fù)定位精度測量和定位精度測量,又稱之為線性測量。SJ6000機(jī)床激光干涉儀標(biāo)配的線性鏡組,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成??蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償,一次測量即可得出上述三種誤差。
依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)
SJ6000機(jī)床激光干涉儀全套系統(tǒng)
線性測量中目標(biāo)位置的數(shù)據(jù)采集有【基于位置的目標(biāo)采集】和【基于時(shí)間的目標(biāo)采集】兩種方式,普遍使用基于位置的目標(biāo)采集方式:被測運(yùn)動(dòng)軸需設(shè)置若干個(gè)等距的定位點(diǎn),當(dāng)測長機(jī)的測頭移動(dòng)到設(shè)置的定位點(diǎn)時(shí),需設(shè)置停留時(shí)間,以供SJ6000機(jī)床激光干涉儀進(jìn)行當(dāng)前點(diǎn)的數(shù)據(jù)采集。測量結(jié)果將會(huì)自動(dòng)生成分析曲線,即可得到導(dǎo)軌的運(yùn)行軌跡。
機(jī)床誤差修正激光干涉儀維護(hù)
數(shù)控機(jī)床精度校準(zhǔn)
測量機(jī)床回轉(zhuǎn)軸精度
測量機(jī)床偏擺角度
測量機(jī)床直線度
測量機(jī)床定位精度
中圖儀器是一家企業(yè),經(jīng)過十多年在幾何量測量領(lǐng)域的潛心研究,現(xiàn)有員工200余人,集光、機(jī)、電、信息技術(shù)于一體的技術(shù)團(tuán)隊(duì),在微納米運(yùn)動(dòng)設(shè)計(jì)制造、微納米顯微測量三維重建、顯微測量3D形貌分析、大尺寸三維空間測量、精密傳感測頭、光柵導(dǎo)軌測控等眾多技術(shù)領(lǐng)域形成了設(shè)計(jì)、制造優(yōu)勢(shì),具備了從納米到百米為用戶提供精密測量解決方案的能力!
測量機(jī)床直線度
測量機(jī)床定位精度
中圖儀器是一家企業(yè),經(jīng)過十多年在幾何量測量領(lǐng)域的潛心研究,現(xiàn)有員工200余人,集光、機(jī)、電、信息技術(shù)于一體的技術(shù)團(tuán)隊(duì),在微納米運(yùn)動(dòng)設(shè)計(jì)制造、微納米顯微測量三維重建、顯微測量3D形貌分析、大尺寸三維空間測量、精密傳感測頭、光柵導(dǎo)軌測控等眾多技術(shù)領(lǐng)域形成了設(shè)計(jì)、制造優(yōu)勢(shì),具備了從納米到百米為用戶提供精密測量解決方案的能力!