激光干涉儀是激光在計(jì)量領(lǐng)域中成功的應(yīng)用之一,是工業(yè)中具的長度測(cè)量儀器。它可用于精密機(jī)床、大規(guī)模集成電路加工設(shè)備等的在線在位測(cè)量、誤差修正和控制。激光干涉儀采用外差干涉測(cè)量原理,克服了普通單頻干涉儀測(cè)量信號(hào)直流漂移的問題,具有信號(hào)噪聲小、抗環(huán)境干擾、允許光源多通道復(fù)用等諸多優(yōu)點(diǎn),使得干涉測(cè)長技術(shù)能真正用于實(shí)際生產(chǎn)。
工作原理
1、激光從激光干涉儀出來在分光鏡處分為兩束,一束為參考光由固定角錐反射鏡反射,另一束為測(cè)量光由移動(dòng)反射鏡反射,并與參考光合束,產(chǎn)生干涉;
2、通過干涉環(huán)的增減來判斷移動(dòng)的角錐反射鏡移動(dòng)的距離。
產(chǎn)品功能
中圖SJ6000激光干涉儀可以對(duì)機(jī)床進(jìn)行靜態(tài)測(cè)量和動(dòng)態(tài)測(cè)量。靜態(tài)測(cè)量可以進(jìn)行線性,角度,平面度,直線度和垂直度等測(cè)量;動(dòng)態(tài)測(cè)量可以進(jìn)行速度、加速度分析,振動(dòng)分析等。
系統(tǒng)性能
² 測(cè)量方式:單頻
² 穩(wěn)頻精度:0.05ppm
² 動(dòng)態(tài)采集頻率:50 kHz
² 預(yù)熱時(shí)間:5-10分鐘
² 工作溫度范圍:0~40℃
² 環(huán)境溫度范圍:0~40℃
² 存儲(chǔ)溫度范圍:-20℃~70℃
環(huán)境補(bǔ)償示值誤差
² 空氣溫度傳感器:±0.2℃ (0-40℃),分辨率0.01℃
² 材料溫度傳感器:±0.1℃ (0-40℃),分辨率0.01℃
² 空氣濕度傳感器:±6% (0-95%)
² 大氣壓力傳感器:±1mBar (650-1150mbar)
中圖SJ6000激光干涉儀可以對(duì)機(jī)床進(jìn)行靜態(tài)測(cè)量和動(dòng)態(tài)測(cè)量。靜態(tài)測(cè)量可以進(jìn)行線性,角度,平面度,直線度和垂直度等測(cè)量;動(dòng)態(tài)測(cè)量可以進(jìn)行速度、加速度分析,振動(dòng)分析等。
² 測(cè)量方式:單頻
² 穩(wěn)頻精度:0.05ppm
² 動(dòng)態(tài)采集頻率:50 kHz
² 預(yù)熱時(shí)間:5-10分鐘
² 工作溫度范圍:0~40℃
² 環(huán)境溫度范圍:0~40℃
² 存儲(chǔ)溫度范圍:-20℃~70℃
環(huán)境補(bǔ)償示值誤差
² 空氣溫度傳感器:±0.2℃ (0-40℃),分辨率0.01℃
² 材料溫度傳感器:±0.1℃ (0-40℃),分辨率0.01℃
² 空氣濕度傳感器:±6% (0-95%)
² 大氣壓力傳感器:±1mBar (650-1150mbar)