產(chǎn)品描述
LJ-16T高真空熱蒸發(fā)鍍膜儀(鍍膜機(jī)),由裕隆時(shí)代公司精心設(shè)計(jì)制作,是專為掃描電鏡和電子探針等進(jìn)行試樣制備的設(shè)備??梢栽诟呒儦鍤獗Wo(hù)下進(jìn)行多種離子處理,也可真空蒸碳和真空蒸金屬。用于樣品的外貌觀察,尤其對(duì)成份定量分析更為適宜。采用分子泵系統(tǒng),特別適于對(duì)真空要求高,真空環(huán)境好的用戶選用。 應(yīng)用領(lǐng)域:離子噴涂、離子濺射、離子清洗、真空蒸碳、真空蒸金屬等工作。
技術(shù)參數(shù)
儀器尺寸:480mm W x 320mm D x 240mm H
工作腔室:硼硅酸鹽玻璃 160mm Dia x 120mm H
真空系統(tǒng): 渦輪分子泵,抽速為70L/s
旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵:抽速為2L/s兩級(jí)旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵,帶防返油電磁閥及油污過(guò)濾器
真空測(cè)量:采用復(fù)合真空計(jì)監(jiān)測(cè)真空
極限真空度: 10-4mbar兩級(jí)
工作真空度:10-1mbar(濺射真空度手動(dòng)調(diào)整)
工作氣體:濺射工作氣體:氬氣
濺射電流:0-20mA(磁控濺射靶0-100mA)
微調(diào)真空氣閥:可連接φ3mm軟管
電源:230伏/50Hz(包括泵電流為6安培)