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環(huán)保APP正式上線

HMDS增粘劑烘箱,HMDS涂膠機(jī) 工業(yè)烘箱

參考價(jià)560.00
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng)上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司
  • 品       牌雋思
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間2023/10/24 14:34:28
  • 訪問(wèn)次數(shù)877
規(guī)格
1560.00元896892 臺(tái)可售
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上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“雋思儀器”)是一家專(zhuān)業(yè)從事儀器設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售及服務(wù)的企業(yè)。主要生產(chǎn)半導(dǎo)體工藝設(shè)備、環(huán)境模擬儀器設(shè)備、線纜試驗(yàn)機(jī)、橡塑試驗(yàn)檢測(cè)設(shè)備、黑蒜設(shè)備等的高新技術(shù)型企業(yè),具有很強(qiáng)的自主開(kāi)發(fā)、設(shè)計(jì)能力,服務(wù)于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè),建筑,節(jié)能等行業(yè);多年來(lái),公司以“真摯的服務(wù)、優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)”為宗旨,為國(guó)內(nèi)外廣大用戶(hù)提供了周到的售前、售中、售后服務(wù)。贏得了國(guó)內(nèi)外客戶(hù)的*好評(píng),更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精,更完善!
 雋思儀器主要業(yè)務(wù)有HMDS預(yù)處理系統(tǒng),HMDS烘箱,潔凈烤箱,百級(jí)潔凈烘箱,氮?dú)夂嫦?,高溫?zé)o氧烘箱,真空無(wú)氧烘箱,無(wú)塵無(wú)氧化烘箱,抗粘劑涂膠機(jī),精密恒溫加熱臺(tái),快速高低溫氣流儀,超低溫試驗(yàn)箱高低溫試驗(yàn)箱,高低溫交變濕熱箱定做,HMDS真空涂膠烘箱,低溫脆性檢測(cè)儀,黑蒜發(fā)酵設(shè)備,導(dǎo)體直流電阻測(cè)試儀,電線電纜檢測(cè)儀器,真空烘箱,黑蒜試驗(yàn)機(jī),橡塑檢測(cè)試驗(yàn)機(jī)等。
    不斷追求技術(shù)進(jìn)步、提升專(zhuān)業(yè)服務(wù)能力,做一個(gè)專(zhuān)業(yè)的儀器設(shè)備供應(yīng)商是我們的發(fā)展目標(biāo)。企業(yè)內(nèi)部實(shí)施了CRM、ERP項(xiàng)目管理,在產(chǎn)品開(kāi)發(fā)、質(zhì)量控制、集成供應(yīng)鏈、人力資源管理、財(cái)務(wù)管理等諸多方面取得了長(zhǎng)足發(fā)展。同時(shí)建立了標(biāo)準(zhǔn)化的服務(wù)流程,形成了覆蓋全國(guó)的快速服務(wù)網(wǎng)絡(luò),以盡心盡責(zé)的服務(wù)理念和完備的技術(shù)得到用戶(hù)的*稱(chēng)贊。我們將珍視每一次與您合做的機(jī)會(huì),以飽滿(mǎn)的熱情、真誠(chéng)的服務(wù)與您共創(chuàng)燦爛的未來(lái)!





HMDS烘箱,百級(jí)潔凈烘箱,氮?dú)夂嫦?,高溫?zé)o氧烘箱,PI烤箱,真空無(wú)氧烘箱,無(wú)塵無(wú)氧化烘箱,抗粘劑涂膠機(jī),精密恒溫加熱臺(tái),超低溫試驗(yàn)箱
材質(zhì) 不銹鋼 加工定制
類(lèi)型 真空
HMDS增粘劑烘箱,HMDS涂膠機(jī)即HMDS(六甲基二硅烷)增粘劑氣相涂布,涂膠工藝的配置機(jī)臺(tái)。
HMDS增粘劑烘箱,HMDS涂膠機(jī) 工業(yè)烘箱 產(chǎn)品信息

HMDS增粘劑烘箱,HMDS涂膠機(jī)

    HMDS增粘劑烘箱即HMDS(六甲基二硅烷)增粘劑氣相涂布,涂膠工藝的配置機(jī)臺(tái)。該設(shè)備結(jié)合了有效的真空烘烤和蒸汽氣相涂布應(yīng)用方法。在使用同一腔室過(guò)程的過(guò)程,為脫水和蒸汽灌注創(chuàng)造了一個(gè)加熱的真空環(huán)境,大大降低了晶片再水化或污染的風(fēng)險(xiǎn)。同時(shí),提高了安全性,具有更好的安全保障。

HMDS增粘劑烘箱,HMDS涂膠機(jī)工藝步驟

工作腔室泵+N2清洗循環(huán):涂膠過(guò)程從泵開(kāi)始,并在初始烘烤數(shù)分鐘后清洗 預(yù)熱完成的真空腔室的循環(huán),以到達(dá)使基板脫水的目的。 將腔室抽真空至低壓并重新充入純氮?dú)鈹?shù)次以去除水蒸氣。 同時(shí)可編程預(yù)熱脫水步驟提供了足夠的加熱時(shí)間來(lái)將晶片預(yù)熱到 工藝溫度;

循環(huán)吹掃完成后,將降低工作室壓力,打開(kāi)裝有 HMDS 化學(xué)品的燒瓶的蒸汽閥, 當(dāng)蒸氣閥打開(kāi)時(shí),腔室將化學(xué)蒸氣吸入,HMDS 蒸氣然后與晶片反應(yīng)。數(shù)分鐘的汽化時(shí)間對(duì)晶圓進(jìn)行底漆處理,汽化時(shí)間是可調(diào)的,可以根據(jù)需要增加,以確保對(duì)各種類(lèi)型的表面進(jìn)行底漆處理,關(guān)閉蒸汽閥并保持烘烤狀態(tài);

工作腔室泵+N2排氣循環(huán),烘烤時(shí)間結(jié)束后,N2注入腔體內(nèi),真空泵抽出氣體,數(shù)次循環(huán)后以到達(dá)使腔內(nèi)殘余HMDS蒸汽排出的目的。

HMDS增粘劑烘箱技術(shù)性能

溫度范圍:RT+10-200℃

真空度:≤1torr

操作方式:人機(jī)界面,一鍵運(yùn)行

儲(chǔ)液瓶:HMDS儲(chǔ)液量1000ml 

真空泵:無(wú)油渦旋真空泵

工藝編輯:可儲(chǔ)存5個(gè)程序

氣體:N2進(jìn)氣閥,自動(dòng)控制

容積:40L/90L/210L,可定制

產(chǎn)品兼容性:2~12寸晶圓及碎片、方片等

適用行業(yè):MEMS、濾波、放大、功率等器件,晶圓、玻璃、貴金屬,SiC(碳化硅)、GaN(氮化鎵)、ZnO(氧化鋅)、GaO(氧化鎵)、金剛石等第三代半導(dǎo)體材料。





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