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光刻膠HMDS烘箱 HMDS疏水處理烘箱

參考價 129800 112690
訂貨量 1-2 ≥3
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱上海雋思實驗儀器有限公司
  • 品       牌雋思
  • 型       號JS-HMDS90
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間2024/5/21 9:02:58
  • 訪問次數573
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上海雋思實驗儀器有限公司(以下簡稱“雋思儀器”)是一家專業(yè)從事儀器設備研發(fā)、生產、銷售及服務的企業(yè)。主要生產半導體工藝設備、環(huán)境模擬儀器設備、線纜試驗機、橡塑試驗檢測設備、黑蒜設備等的高新技術型企業(yè),具有很強的自主開發(fā)、設計能力,服務于電子、電力、通訊、環(huán)保、農業(yè),建筑,節(jié)能等行業(yè);多年來,公司以“真摯的服務、優(yōu)質的品質”為宗旨,為國內外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務。贏得了國內外客戶的*好評,更為我們業(yè)務的快速發(fā)展奠定了一定的基礎。我們的服務也更精益求精,更完善!
 雋思儀器主要業(yè)務有HMDS預處理系統,HMDS烘箱,潔凈烤箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫無氧烘箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機,精密恒溫加熱臺,快速高低溫氣流儀,超低溫試驗箱,高低溫試驗箱,高低溫交變濕熱箱定做,HMDS真空涂膠烘箱,低溫脆性檢測儀,黑蒜發(fā)酵設備,導體直流電阻測試儀,電線電纜檢測儀器,真空烘箱,黑蒜試驗機,橡塑檢測試驗機等。
    不斷追求技術進步、提升專業(yè)服務能力,做一個專業(yè)的儀器設備供應商是我們的發(fā)展目標。企業(yè)內部實施了CRM、ERP項目管理,在產品開發(fā)、質量控制、集成供應鏈、人力資源管理、財務管理等諸多方面取得了長足發(fā)展。同時建立了標準化的服務流程,形成了覆蓋全國的快速服務網絡,以盡心盡責的服務理念和完備的技術得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機會,以飽滿的熱情、真誠的服務與您共創(chuàng)燦爛的未來!





HMDS烘箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫無氧烘箱,PI烤箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機,精密恒溫加熱臺,超低溫試驗箱
材質 316L不銹鋼 功率 2500
加工定制 類型 真空
適用范圍 MEMS,氮化鎵,砷化鎵,半導體 溫度范圍 110-160℃
光刻膠HMDS烘箱 HMDS疏水處理烘箱應用多晶硅,石英,太陽能電池片、金屬、貴金屬、藍寶石、SiC(碳化硅)、磷化銦、GaN(氮化鎵)、ZnO(氧化鋅)、GaO(氧化鎵)、金剛石等第三代半導體材料。
光刻膠HMDS烘箱 HMDS疏水處理烘箱 產品信息

  光刻膠HMDS烘箱  HMDS疏水處理烘箱研發(fā)背景

       集成電路光刻工藝中常使用HMDS對晶圓襯底進行黏附處理,來提高光刻膠與襯底的黏附性,HMDS中文名六甲基二硅氮烷(Si(CH3)3)2NH,行業(yè)所要求純度大于99.7%。



HMDS黏附機  HMDS烘箱  HMDS疏水處理烘箱作用



      襯底在空氣中易形成厚度為幾個原子層的二氧化硅薄膜,由于其具有親水性,會吸附空氣中的水分到襯底表面。光刻膠涂層多為有機疏水材料,這就造成了光刻膠與襯底黏附性差。在實際生產中,常將HMDS霧化,并在特定的溫度和壓力條件下處理,來改變晶圓表面的親水性。其原理可以簡述為HMDS中的有機基團取代晶圓表面水分子羥基,使晶圓表面由親水性變?yōu)槭杷浴?/span>



  光刻膠HMDS烘箱  HMDS疏水處理烘箱實用性

       在光刻中,光刻膠的黏附效果受到光刻涂層,襯底材料,以及光刻工藝三方面的影響。HMDS的黏附處理不只是對硅基襯底有效。也用于其他襯底,諸如多晶硅,石英,太陽能電池片、金屬、貴金屬、藍寶石、SiC(碳化硅)、磷化銦、GaN(氮化鎵)、ZnO(氧化鋅)、GaO(氧化鎵)、金剛石等第三代半導體材料。

HMDS烘箱兼容2~12寸晶圓及碎片、方片等。

設備名稱:HMDS烘箱

設備型號: JS-HMDS90

內腔尺寸:450×450×450、350×350×350(mm)可定制

材質:外箱采用優(yōu)質冷軋板噴塑、304不銹鋼,內箱采用316L醫(yī)用級不銹鋼

工藝溫度:110-160℃

真空度:≤1torr

工藝運行:自動運行


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