突出特點
Triglav™- 新型超高分辨率(UHR) 電子光學(xué)鏡筒
- TriLens™ 物鏡系統(tǒng):*的電子束無交叉模式與三物鏡相結(jié)合;
- 具有多個 SE 及 BSE 探測器的探測系統(tǒng);
- TriSE™+TriBE™
- Triglav™ - 低加速電壓下的超高分辨率: 1 nm ( 1 keV ), 0.7 nm ( 15 keV );
- 全新的 EquiPower™技術(shù)進一步提高電子束的穩(wěn)定性;
- 電子束流高達 400 nA,并能實現(xiàn)電子束能量的快速改變;
- 優(yōu)化的鏡筒幾何設(shè)計大可容納8”晶圓
- 實時電子束追蹤技術(shù)(In-Flight Beam Tracing™)可對電子束實時優(yōu)化;
- 擴展的低真空模式,樣品室氣壓能達到 500 Pa,實現(xiàn)不導(dǎo)電樣品的觀測;
- *的 TriBE™具有三個 BSE 探測器,可以選擇不同立體角的信號進行采集。位于鏡筒內(nèi)部的 Mid-Angle BSE 和 In-Beam LE-BSE 探測器,分別用于檢測中角及軸向的高角背散射電子,而樣品室的 BSE 探測器用于探測低角背散射電子。三個探測器可以提供不同襯度的圖像,并且能探測到低于 200 eV 的低能背散射信號;
- *的 TriSE™具有三個 SE 探測器,所有工作模式下二次電子信號的采集都進行了優(yōu)化。位于鏡筒內(nèi)部的 In-Beam SE 探測器能在短工作距離下采集二次電子,SE ( BDM ) 探測器用于電子束減速模式下的超高分辨成像。In-Chamber SE 探測器能提供形貌襯度和立體感;
- 電子束減速技術(shù)(BDT)可在低至 50 eV 的低電子束能量下實現(xiàn)出色的分辨率(選配)。
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