VEGA3 是一款功能強(qiáng)大的電子顯微鏡系統(tǒng)，可支持高 & 低真空環(huán)境操作，并為用戶提供優(yōu)勢技術(shù)。如提高圖像采集速度的高性能電子設(shè)備、靜態(tài)和動態(tài)圖像畸變補(bǔ)償?shù)某鞉呙柘到y(tǒng)、用戶自定義的應(yīng)用程序腳本等。此外，由于使用了強(qiáng)力的渦淪分子泵和機(jī)械泵，因而可以快速簡單地得到干凈的真空樣品室。VEGA3 有四種樣品室可供選擇：SB、LM、XM 和 GM，樣品室配備多種接口，為 EDS、WDS 和 EBSD 分析附件的安裝設(shè)計了幾何結(jié)構(gòu)。VEGA 系列產(chǎn)品一直保持著非常高的性價比，可滿足當(dāng)今科研及工業(yè)的掃描電鏡應(yīng)用需求，如果您正在尋找一款性能可靠、功能齊全的入門級掃描電鏡，VEGA 系列是您的選擇。
突出特點
- *的四透鏡大視野（Wide Field Optics™) 設(shè)計、專有的中間鏡（IML）電子束優(yōu)化功能，并可提供多種工作模式和顯示模式；
- *的中間鏡設(shè)計（IML），采用電磁的方式改變物鏡光闌——中間鏡的作用如同連續(xù)可調(diào)的光闌；
- 結(jié)合了電子光學(xué)設(shè)計的實時電子束追蹤技術(shù)（In-Flight Beam Tracing™) 可模擬和進(jìn)行束斑優(yōu)化；
- 無需任何機(jī)械對中的鏡筒設(shè)計，使光路合軸和校準(zhǔn)*自動化；
- 可實現(xiàn)高通量、大面積自動化檢測，如自動顆粒分布和分析；
- 配有經(jīng)過計算機(jī)優(yōu)化、馬達(dá)驅(qū)動的全自動優(yōu)中心樣品臺 (compucentric stage)
- 有利于 EDS、WDS、EBSD 分析的理想幾何設(shè)計，無畸變的 EBSD 工作模式；
- 強(qiáng)力渦淪分子泵和機(jī)械泵，可快速簡單地得到干凈的真空樣品室；
- 全自動化顯微鏡設(shè)置，包括電子光學(xué)設(shè)置和對齊；
- 用于 SEM 操控、圖像采集、歸檔、處理及分析的專業(yè)軟件；支持多語言多用戶環(huán)境；
- 網(wǎng)絡(luò)操作和內(nèi)置的遠(yuǎn)程控制/診斷功能；
- 采用 3D 電子束技術(shù)（3D Beam Technology ）可獲得實時立體成像。
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