The Fully Automated AFM for Accurate Inline Metrology of Hard Disk Head Sliders that makes doing great work simpler.
Park Systems的PTR系列是針對(duì)全自動(dòng)工業(yè)級(jí)線上的原子力顯微鏡解決方案，適用于（不限于）長(zhǎng)形條、磁頭萬(wàn)向節(jié)組件(HGA)級(jí)滑塊以及單獨(dú)滑塊的極尖沉降自動(dòng)測(cè)量。憑借著亞納米級(jí)精確度、高重復(fù)精度以及高通量，PTR系列是滑塊廠商提高整體產(chǎn)量的理想測(cè)量工具。
Inline Automation, for Fast, Accurate, and Repeatable PTR Measurements
硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)滑塊制造業(yè)要求工具不僅可以快速且流暢地測(cè)量極尖沉降，同時(shí)還要保證標(biāo)準(zhǔn)的精確度。這便是Park NX-PTR大展身手的領(lǐng)域。在超精確的極尖沉降測(cè)量之外，自動(dòng)化功能可極大程度提高效率。這讓NX-PTR成為硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器滑塊廠商的，兼顧的質(zhì)量和的產(chǎn)量。
High Throughput,with No Need for Multiple Reference Scans
大多數(shù)原子力顯微鏡需要多次掃描才可以準(zhǔn)確測(cè)量極尖沉降，首先是大區(qū)域參考掃描，隨后小區(qū)域高分辨率掃描。多次掃描占用大量時(shí)間，且限制了通量的提高。我們的掃描系統(tǒng)帶來(lái)真正的平面掃描，有效地降低掃描次數(shù)。此外，True Non-Contact™模式讓探針保持鋒利，在延長(zhǎng)使用壽命的同時(shí)，提供更持久的高分辨率成像效果。相應(yīng)地，Park NX-PTR能夠生成感興趣區(qū)域的詳細(xì)準(zhǔn)確圖像，而無(wú)需進(jìn)行參考掃描，以便修正掃描器偽影。
Automated Inline Measurements of Hard Disk Sliders
隨著硬盤(pán)滑塊的尺寸越來(lái)越小，復(fù)雜性越來(lái)越高，提高產(chǎn)量的關(guān)鍵在于實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的精確度。
Park NX-PTR恰恰具備這樣的精確且自動(dòng)的硬盤(pán)滑塊測(cè)量。
Automatic PTR Measurement and Analysis
借助NX-PTR系統(tǒng)，極尖沉降測(cè)量可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)，帶來(lái)更高的通量，無(wú)論是對(duì)于載體、長(zhǎng)形條，還是滑塊。
Park Systems的工業(yè)級(jí)院里子顯微鏡精確且穩(wěn)定的全自動(dòng)化極尖沉降(PTR)測(cè)量成為可能。
極尖沉降量的監(jiān)測(cè)要求測(cè)量精度達(dá)到0.1 mm，這意味著離測(cè)量表面只有20 µm遠(yuǎn)。
Automatic Wall Angle Measurement & Analysis
實(shí)現(xiàn)各類墻角的自動(dòng)測(cè)量與分析。
Automatic Defect Measurement and Analysis
實(shí)現(xiàn)各類缺陷的全自動(dòng)測(cè)量與分析，如表面尖角。
Park NX-PTR features
Low Noise XYZ Position Sensors for more accurate scans
NX-PTR擯棄了常見(jiàn)的非線性Z軸電壓信號(hào)，而是采用超低噪聲Z軸探測(cè)器，從而帶來(lái)的形貌高度精度。憑借著行業(yè)的低噪聲Z軸探測(cè)器，正向掃描和反向掃描間隙得以降到掃描范圍的0.15%以內(nèi)，甚至可以忽略不計(jì)，而這時(shí)Z軸形貌信號(hào)所無(wú)法企及的。
Minimal Thermal Drift and Hysteresis reduces tip drift
NX-PTR具備極為突出的熱穩(wěn)定性和機(jī)械穩(wěn)定性，從而大大降低熱漂移，實(shí)現(xiàn)更為精確的測(cè)量。一般情況下，橫向熱漂移率低于100 nm/°C，而垂直熱漂移率則低于200 nm/°C。
Automatic Measurement Control so you can get accurate scans with less work
NX-PTR配有自動(dòng)化軟件，操作起來(lái)輕而易舉。您只需要選擇想要的測(cè)量程序，并設(shè)定相應(yīng)的懸臂調(diào)諧、掃描速率、增益和點(diǎn)參數(shù)，便可取得多位置分析。此外，Park的用戶友好型界面讓您能夠隨意創(chuàng)建自定義作業(yè)程序，以便您發(fā)揮NX-PTR的實(shí)力，滿足所有的測(cè)量需求。創(chuàng)建新的作業(yè)程序極為簡(jiǎn)單，新測(cè)量文件創(chuàng)建只需要10分鐘，而修改現(xiàn)有的測(cè)量文件則不超過(guò)5分鐘。
Park NX-PTR’s automated system features:
自動(dòng)、半自動(dòng)和手動(dòng)模式，讓您掌控全局
各自動(dòng)程序的可編輯測(cè)量方法
測(cè)量過(guò)程實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)
自動(dòng)分析所獲取的測(cè)量數(shù)據(jù)
