徠卡高真空鍍膜儀-Leica EM ACE600概述 | ||
Leica EM ACE600 是一款高真空鍍膜儀,真空泵采用隔膜泵和渦輪分子泵,無油真空系統(tǒng),真空度可達(dá)2x10-6mbar。鍍膜細(xì)膩均勻。內(nèi)置石英膜厚檢測(cè)器,可精確控制鍍膜厚度。全自動(dòng)電腦控制,自動(dòng)完成抽真空、鍍膜、放氣等全過程,一鍵操作。采用當(dāng)下zui流行的觸摸屏控制,簡(jiǎn)單方便。儀器可選離子濺射鍍金屬膜,滿足高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡(FESEM)需求,可選碳絲蒸發(fā)鍍碳膜,用于X-射線能譜及波譜分析,或者TEM銅網(wǎng)鍍碳膜,還可以選擇電子束蒸發(fā)方式鍍膜,獲得極其細(xì)膩的金屬膜與碳膜,可用于DNA投影等特殊用途。 | ||
徠卡高真空鍍膜儀-Leica EM ACE600性能 | ||
• *重現(xiàn)的結(jié)果:運(yùn)行全自動(dòng)化過程,輔以參數(shù)和協(xié)議設(shè)置。集成的石英測(cè)量和 自動(dòng)化3軸載物臺(tái)移動(dòng) • 小巧緊湊:設(shè)計(jì)緊湊,占地面積小節(jié)省了實(shí)驗(yàn)室空間 • 容易清洗:可拆卸的門、卷簾、內(nèi)部屏蔽、來源和載物臺(tái),確保制備高品質(zhì)樣本 的環(huán)境清潔 • 操作簡(jiǎn)便:直觀的觸摸屏,松推配合的連接器和免工具的目標(biāo)變更,舒適的前門 鎖定 • 自定義配置:可滿足不同的具體需求 • 低溫鍍膜:真空低溫傳輸系統(tǒng)適應(yīng)將室溫鍍膜機(jī)轉(zhuǎn)換成低溫鍍膜機(jī)。樣本能在低 溫下于受保護(hù)的環(huán)境中進(jìn)行鍍膜和傳輸 | ||
技術(shù)參數(shù) | ||
可任選離子濺射模式,碳絲蒸發(fā)鍍碳模式,碳棒(熱阻)蒸發(fā)模式, 電子束蒸發(fā)模式,雙濺射模式,濺射-碳絲模式,濺射-碳棒模式,濺 射-電子束模式,雙電子束模式,可兼容EM VCT100冷凍傳輸系統(tǒng), 可選輝光放電(用于網(wǎng)格表面親水化) | ||
設(shè)計(jì)脈沖式碳絲蒸發(fā)方式,可精確控制碳膜厚度 | ||
內(nèi)置石英膜厚檢測(cè)器,精確控制鍍膜厚度,精度達(dá)0.1nm | ||
全自動(dòng)程序控制,自動(dòng)完成抽真空、鍍膜、放氣等過程 | ||
觸摸屏控制,簡(jiǎn)單方便 | ||
采用隔膜泵+渦輪分子泵,無油真空系統(tǒng),真空度≤2x10-6mbar | ||
濺射電流:0-150mA可調(diào) | ||
方形樣品倉(cāng)設(shè)計(jì),樣品倉(cāng)尺寸:200mm(寬)x150mm(深)x195mm(高) | ||
樣品臺(tái)內(nèi)置旋轉(zhuǎn),工作距離調(diào)節(jié)范圍:30-100mm |
鏈能金相實(shí)驗(yàn)設(shè)備南京有限公司
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Leica EM ACE600 是一款高真空鍍膜儀,真空泵采用隔膜泵和渦輪分子泵,無油真空系統(tǒng),真空度可達(dá)2x10-6mbar。鍍膜細(xì)膩均勻。內(nèi)置石英膜厚檢測(cè)器,可精確控制鍍膜厚度。全自動(dòng)電腦控制,自動(dòng)完成抽真空、鍍膜、放氣等全過程,一鍵操作。采用當(dāng)下Z流行的觸摸屏控制,簡(jiǎn)單方便。