小型離子濺射儀 鄭州 科探KT-Z1650PVD
離子濺射儀功能：
一個(gè)更加廣泛的選擇由于全自動(dòng)直流離子濺射儀在制樣過(guò)程中被提供給了掃描電鏡用戶，從而為掃描電子顯微鏡所需的涂層要求的適用提供了支持。在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及人機(jī)界面方面簡(jiǎn)單智能，對(duì)人性更加的注重。一個(gè)低成本的解決方案由于離子濺射儀對(duì)SEM樣品常規(guī)適用黃金濺射被提供了，與此同時(shí)能夠利用對(duì)金、鉑、銥、銀、銅等不同的靶材的更換來(lái)使得更細(xì)顆粒的涂層達(dá)到。與此同時(shí)，利用智能的人機(jī)界面對(duì)儀器的控制更加的方便、簡(jiǎn)單以及精確，與此同時(shí)，能夠?qū)﹀儗雍穸冗M(jìn)行估算，對(duì)真空實(shí)時(shí)顯，濺射電流對(duì)濺射時(shí)間進(jìn)行設(shè)定，對(duì)靶材的剩余情況進(jìn)行計(jì)算。
離子濺射儀在掃描電鏡（SEM）的樣品噴金方便為專用的儀器，樣品的導(dǎo)電性及導(dǎo)熱性可以非常有效的提供，使恒沉積速率得到確保，使等離子體對(duì)樣品的熱影響和離子轟擊損傷減少，使掃描電鏡觀測(cè)結(jié)果得到了較為顯著的提高。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
• 彩色觸摸屏：數(shù)據(jù)輸入簡(jiǎn)單快速
• 通過(guò)觸摸屏中直觀檢測(cè)數(shù)據(jù)和曲線；歷史頁(yè)面可顯示歷史涂層信息。
• 可控鍍膜速率，可得到更精細(xì)的晶粒結(jié)構(gòu)
• 可手動(dòng)或自動(dòng)，根據(jù)時(shí)間或根據(jù)厚度進(jìn)行濺射
• 樣品臺(tái)更換簡(jiǎn)單：標(biāo)準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)或選用行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)。標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)高度可調(diào)、可傾斜、可旋轉(zhuǎn)；行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)為多孔樣品帶來(lái)好的噴金效果。
小型離子濺射儀 鄭州 科探KT-Z1650PVD廠家供應(yīng)技術(shù)參數(shù)；
控制方式 | 7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制 |
濺射電源 | 直流濺射電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
功率 | ≤1000W |
輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流≤1A |
真空 | 機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板類型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣品臺(tái) | 可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底） |
樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速 | 8轉(zhuǎn)/分鐘 |
樣品濺射源調(diào)節(jié)距離 | 40-105mm |
真空測(cè)量 | 皮拉尼真空計(jì)（已安裝 測(cè)量范圍10E5Pa 1E-1Pa） |
預(yù)留真空接口 | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口 |
