快速準確的雙面掃描系統(tǒng)
測量速度:2 kHz / 4 kHz / 20 kHz
在x和y方向上移動300 mm(200 mm),橫向分辨率為50 nm,電動z軸分辨率為20 nm
2D輪廓,3D地形圖和3D厚度圖
掃描范圍大
x,y,z分辨率,行程為max.300 mm(200 mm)
零件厚度max.80 mm
彩色白光傳感器
高分辨率離軸相機
CT 350T是一款非接觸式雙面光學輪廓儀,具有300毫米x,y掃描臺。頂部和底部傳感器安裝在行程為100 mm的高精度Z軸上。雙面自動對焦功能甚至可以測量嚴重彎曲或彎曲的零件。兩個傳感器均收集與x,y編碼器信號同步的高度數據,并軸向對齊以確保精確的差分厚度測量。該軟件同時從頂部和底部表面生成2D輪廓和3D貼圖,并計算相應的總厚度輪廓或貼圖。
運動系統(tǒng)使用快速,準確的磁性直線電機。通過以4 kHz的數據速率觸發(fā)彩色白光傳感器,可以將檢查時間更小化。通過在平臺孔上安裝轉接板,該系統(tǒng)可以用作標準光學表面輪廓儀,使CT 350T成為功能廣泛的表面和厚度測量系統(tǒng)。該系統(tǒng)也有較小的版本,如CT 250T,具有200 mm的行程,非常適合8英寸晶圓或基板和太陽能晶圓。
集成系統(tǒng)控制器:包括運動控制,傳感器控制器(4 kHz),電源,工作站的USB接口
工作站電腦:查詢當前規(guī)格,22英寸寬屏顯示器
連接方式:以太網,DVD驅動器,USB(正面和背面),并行端口,鍵盤,鼠標,DVI和模擬視頻輸出
電源要求:100-240 V AC,50-60 Hz,2.0 A(240 V),5 A(100 V)
測量表面尺寸:300 x 300 [mm](12 x 12 [in])
線性編碼器分辨率
X,Y:50 nm(2μin)
Z:5 nm(0.2 µin)
橫向分辨率:1微米(載物臺分辨率:50 nm)
X和Y的行程限制(電動):350 x 300 [mm](13.8 x 12 [in])
Z行程限制(電動):100 mm (4 in)
平臺上的負載:max.10 kg
可用的傳感器:共焦白光傳感器
工作溫度:18°-20°C(64°F – 68°F)
尺寸(長X寬X高):1290 x 1082 x 1425 [mm](約43 x 51 x 56 [in])
重量:650 kg (1.433 lbs)