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ALNAIR硅晶圓厚度傳感器SIT-200

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱天津瑞利光電科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號SIT-200
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2024/5/10 8:00:13
  • 訪問次數(shù)118
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天津瑞利光電科技有限公司成立于2016年,公司專注于引進國外前沿光電技術及*光電產品,為國內科學研究與工業(yè)應用提供優(yōu)質的產品和技術服務。目前,瑞利光電已與來自歐洲、美國、以色列、日本等地的多家光電產品生產廠家建立了密切的合作關系,產品包括各類激光器、激光加工機器、光學檢測設備、光學測量與分析儀器、精密定位及光學平臺、光學元件等。我們擁有一支成熟的專業(yè)化團隊,相關人員知識經驗豐富,近年來,得益于人才隊伍建設和科學管理實踐,我們的技術服務水平和業(yè)務拓展能力日益精進,與多個高校和科研機構的合作伙伴關系不斷深化,公司規(guī)模和業(yè)務范圍持續(xù)擴大,公司競爭力顯著增強,在太陽能、半導體、生物醫(yī)療、材料加工、光通訊、國防工業(yè)、科學研究等各類*制造與科研領域創(chuàng)造了大量的業(yè)績,為客戶輸送了眾多高技術含量、高質量、高精度、高可靠性、高穩(wěn)定性的產品,同時提供了安裝、調試、培訓、方案研究、集成開發(fā)等綜合技術服務,因此,瑞利也得到了來自全國客戶的廣泛贊譽和認可。光電科技領域的*技術和產品對推動我國工業(yè)發(fā)展和提升科研實力起到了至關重要的作用。瑞利光電始終以“引進高、精、尖技術和產品,助力中國實現(xiàn)強國夢”為使命。我們奉行信義為根,嚴謹為本,精益求精,行思行遠的經營宗旨,力求通過自身的創(chuàng)新發(fā)展為客戶持續(xù)創(chuàng)造價值,為產業(yè)升級,科技強國貢獻力量。
產品介紹用于硅晶片的全光學非接觸式厚度傳感器高動態(tài)范圍,能夠測量混亂的表面能夠在濕蝕刻過程中進行原位測量SIT-200使用高速掃頻可調激光器(而不是寬帶光源)來探測被測晶片
ALNAIR硅晶圓厚度傳感器SIT-200 產品信息
產品介紹

用于硅晶片的全光學非接觸式厚度傳感器

高動態(tài)范圍,能夠測量混亂的表面

能夠在濕蝕刻過程中進行原位測量

SIT-200使用高速掃頻可調激光器(而不是寬帶光源)來探測被測晶片。這樣就可以對每個波長進行更高功率的測量,從而實現(xiàn)高動態(tài)范圍。即使在未拋光的晶片上,例如在濕蝕刻期間/之后,也可以進行厚度測量。硅晶圓厚度傳感器由精確調諧的波長掃描激光源,聚焦傳感器和光接收器(PD)構成。波長掃描光聚焦在目標上,并且在通過傳感器后,PD會檢測到從目標表面反射回來的干涉圖樣。

產品參數(shù)

測量對象:硅片

可測厚度:10~500(n = 3.5)μm

光源:波長掃描激光源

(1515~1585)nm

光輸出功率:0.6,激光等級1 mW

引導光源:紅色LD,激光等級1M

測量時間:min.20 ms

重復性:小于0.1(3σ)μm

監(jiān)控輸出:干擾信號(電氣)

PC接口:以太網

電源:AC 100-240(50/60 Hz)V

尺寸(寬x高x深):364 x 147 x 391 mm

重量:9.0 kg

關鍵詞:傳感器
15700106413
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